simultaneous monitoring of multi-metallic atoms on sputtering process

溅射过程中多金属原子的同步监测

• 批准号: 19760508
• 负责人: OHTA Takayuki
• 金额: $ 2.09万
• 依托单位: Wakayama University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2007 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19760508/
• 关键词: プラズマ診断; スパッタリング; 吸収分光法; プラズマ; 光源; モニタリング

スパッタプロセスは, 非常に幅広い薄膜プロセスに用いられている. 本研究では, 高機能薄膜を高品質に形成するために, スパッタプラズマ中の数種類の金属原子密度を同時にモニタリングする技術の開発を目的とした. 具体的には, 金属原子密度測定用の吸収分光用光源の開発し, 透明導電膜製膜スパッタプラズマ中のInとZn原子密度の同時モニタリングを行い, 金属原子の絶対密度計測に成功した.

The film is very thin, and the film is very thin. The purpose of this study is to develop a technology for the formation of high-quality thin films with high atomic density of several kinds of metals. Specifically, the development of a light source for absorption spectroscopy for measuring metal atom density, the simultaneous measurement of In and Zn atom density in transparent conductive film formation, and the measurement of metal atom absolute density were successfully carried out.

项目成果

マルチマイクロホローカソード光源を用いたIZO膜成膜スパッタプロセスにおける金属原子密度のモニタリング

利用多微空心阴极光源监测IZO薄膜沉积溅射过程中金属原子密度

• 发表时间: 2008
• 作者: 田子多直樹;太田貴之;伊藤昌文;東島康裕;加納浩之;田昭治;堀勝
• 通讯作者: 堀勝

Effects of cathode dimension on plasma characteristics of multi-micro hollow cathode lamp

阴极尺寸对多微型空心阴极灯等离子体特性的影响

• 发表时间: 2008
• 作者: Hori T. Ohta;Y. Tachibana;N. Takota;M. Ito;S. Takashima;Y. Higashijima;H. Kano;S. Den;M.
• 通讯作者: M.

マルチマイクロホローカソード光源を用いた透明導電膜成膜スパッタプロセスにおける金属原子密度のモニタリング

利用多微空心阴极光源监测透明导电薄膜沉积溅射过程中金属原子密度

• 发表时间: 2009
• 作者: 田子多直樹;家苗毅司;太田貴之;伊藤昌文;東島康裕;加納浩之;田昭治;堀勝
• 通讯作者: 堀勝

Development of light source for simultaneous monitoring of multi elements using micro hollow cathode plasma

微型空心阴极等离子体同时监测多元素光源的研制

• 发表时间: 2007
• 作者: Z.Kato;J.Bhattarai;K.Izumiya;N.Kumaga;K.Hashimoto;橘 善洋
• 通讯作者: 橘 善洋

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