In-situ surface figure correction system for soft X-ray mirrors

软X射线镜原位面形校正系统

• 批准号: 22686017
• 负责人: MIMURA Hidekazu
• 金额: $ 16.72万
• 依托单位: The University of Tokyo
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2010 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22686017/
• 关键词: X 線ミラー; 軟 X 線; 超精密加工; 計測; X線ミラー; 軟X線; ナノ精度; 形状修正; 成膜

Ellipsoidal mirror is the most promising optical devise to realize soft X-ray nanobeam. In this project, a method for designing the shape was constructed. Then, fabrication process consisting on machining, measurement and replication were completed. From these results, highly accurate ellipsoidal mirrors could be fabricated.

椭球镜是实现软X射线纳米束最有希望的光学器件。在这个项目中，构建了一种设计形状的方法。然后，完成了包括加工、测量和复制的制造过程。根据这些结果，可以制造高精度的椭球镜。

项目成果

超高精度 X 線ミラーの開発と硬 X 線ナノビーム形成

超高精度X射线反射镜和硬X射线纳米束形成的开发

• 发表时间: 2012
• 作者: Risa NAGAO;Satoshi KOBAYASHI;三村秀和
• 通讯作者: 三村秀和

回転楕円軟X線集光ミラーにおける形状誤差とアライメント誤差の集光特性への影響

球面软X射线聚焦镜形状误差和对准误差对聚焦特性的影响

• 发表时间: 2012
• 作者: The Moscone Center (San Francesco;USA);本山央人
• 通讯作者: 本山央人

大開口・回転体ミラーによる軟X線集光システムの光学設計

大口径转镜软X射线聚焦系统的光学设计

• 发表时间: 2013
• 作者: 大岡健人;原 安寛;山村和也;本山央人
• 通讯作者: 本山央人

Effect of Focusing Flow of Machining Properties in Elastic Emission Machining

弹性发射加工中聚焦流对加工性能的影响

• 发表时间: 2013
• 期刊: Nanoscale Research Letters
• 作者: 有吉誠一郎;他;戸川欣彦，小山司，森茂生，高阪勇輔，秋光純，西原禎文，井上克也，岸根純一郎;Y. Takei
• 通讯作者: Y. Takei

ナノ精度表面製造プロセスの構築とX線ミラーへの展開

纳米精密表面制造工艺构建及其在X射线镜上的应用

• 作者: 星野健一;長津雄一郎;三村秀和
• 通讯作者: 三村秀和