Development of surface profile measurement method for ellipsoidal mirrors

椭球面镜表面轮廓测量方法的研制

• 批准号: 23656106
• 负责人: MIMURA Hidekazu
• 金额: $ 2.08万
• 依托单位: The University of Tokyo
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23656106/
• 关键词: X 線ミラー; 位相回復; 形状計測; X線ミラー

In order to realize a soft X-ray nanobeam by an ellipsoidal mirror, measurement of its surface profile is necessary. In this study, feasibility studies on application of phase retrieval with coherent X-rays were carried out. Several simulations and experiments using visible light indicate that the proposed idea is promising.

为了利用椭球镜实现软X射线纳米束，需要对其表面轮廓进行测量。在这项研究中，相位恢复与相干X射线的应用进行了可行性研究。利用可见光的几个模拟和实验表明，所提出的想法是有前途的。

项目成果

回転楕円体型軟X線ミラーの光学設計と形状計測法の開発

球面软X射线镜光学设计与形状测量方法的发展

• 发表时间: 2012
• 作者: 斎藤貴宏;武井良憲;J.R.Fienup,三村秀和
• 通讯作者: J.R.Fienup,三村秀和

大開口・回転体ミラーによる軟X線集光システムの光学設計

大口径转镜软X射线聚焦系统的光学设计

• 发表时间: 2013
• 作者: 大岡健人;原 安寛;山村和也;本山央人
• 通讯作者: 本山央人

位相回復法による回転体型軟X線集光ミラーの形状計測 -光学設計と理論的検討-

采用相位恢复法的旋转软X射线聚焦镜形状测量-光学设计与理论研究-

• 发表时间: 2012
• 作者: 齋藤貴宏;三村秀和
• 通讯作者: 三村秀和

Development of Surface Profile Measurement Method for Spheroidal X-ray Mirror usin phase retrieval

相位修复球面X射线镜表面轮廓测量方法的研制

• 发表时间: 2012
• 作者: T. Saito;Y. Takei;H. Mimura
• 通讯作者: H. Mimura

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