DLC Coating on a Micro/Nano-Trench by Bipolar PBII&D and Analysis of Plasma Behavior

双极 PBII 微/纳米沟槽上的 DLC 涂层

• 批准号: 23360072
• 负责人: CHOI Junho
• 金额: $ 11.98万
• 依托单位: The University of Tokyo
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011-04-01 至 2014-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23360072/
• 关键词: DLC膜; バイポーラＰＢＩＩ; 3次元コーティング; プラズマシミュレーション; ラマン分光分析; バイポーラPBII; PIC-MCC; マイクロトレンチ; PBII; 3次元成膜; PIC-MCCM; トレンチパターン; プラズマイオン注入法; ナノコーティング; プラズマ; ナノインプリント

Diamond-like carbon (DLC) coating was deposited on a micro/nano-trench by bipolar PBII, and the structure of the DLC film across the overall surface region of the trench was examined by making use of their corresponding Raman spectra. The plasma behavior in surrounding of the trench was calculated with Particle-In-Cell Monte Carlo Collision Method. As a result, DLC film was successfully coated on the overall surface of the trench. When the applied negative voltage was -0.5 kV, the structure of DLC film on the trench-sidewall became more polymer-like carbon than those of the top and bottom surfaces did. This is because the ions, which strike the sidewall, tend to have less incident energy. Whereas in the case of -15 kV, the DLC film on the sidewall was more graphite-like, despite of its smaller incident ion energy in comparison to those of the top and bottom surfaces. This is attributed to sputtering effect from the bottom surface of the trench, as evidenced by the plasma simulation.

采用双极PBII技术在微/纳米沟槽表面沉积类金刚石（DLC）薄膜，并利用相应的拉曼光谱研究了整个沟槽表面区域的DLC薄膜结构。用粒子模拟蒙特卡罗碰撞方法计算了沟槽周围等离子体的行为。结果，DLC膜被成功地涂覆在沟槽的整个表面上。当施加负电压为-0.5kV时，沟槽侧壁的DLC膜结构比上下表面的DLC膜结构更像聚合物碳。这是因为撞击侧壁的离子倾向于具有较少的入射能量。而在-15 kV的情况下，侧壁上的DLC膜更像石墨，尽管与顶表面和底表面相比其入射离子能量较小。这是由于从沟槽的底部表面的溅射效应，证明了由等离子体模拟。

项目成果

ラマンスペクトルを用いたDLC膜の構造および機械的特性評価

使用拉曼光谱评估 DLC 薄膜的结构和机械性能

• 发表时间: 2012
• 作者: Haibo Wang;Joon-wan Kim;Shinichi Yokota;Kazuya Edamura;TARO NAKAMURA,YUICHIRO MIDORIKAWA and HIROKI TOMORI;日比貴之,崔〓豪,加藤孝久,川口雅弘
• 通讯作者: 日比貴之,崔〓豪,加藤孝久,川口雅弘

プラズマイオン注入を用いたカーボンオニオンの合成

使用等离子体离子注入合成碳洋葱

• 发表时间: 2011
• 作者: 松本直浩;崔俊豪;加藤孝久
• 通讯作者: 加藤孝久

ナノスケールシリコンモールドへのDLC保護膜の形成

纳米级硅模具上DLC保护膜的形成

• 发表时间: 2012
• 作者: 崔埈豪;中原優也;長藤圭介;朴元淳;加藤孝久
• 通讯作者: 加藤孝久

古典分子動力学法を用いた水素フリーDLC 膜における表面構造のナノスケール解析

使用经典分子动力学方法纳米级分析无氢 DLC 薄膜的表面结构

• 发表时间: 2014
• 期刊: トライボロジスト
• 作者: 澤井周;熊谷知久;崔埈豪;加藤孝久
• 通讯作者: 加藤孝久

バイポーラPBII法によるトレンチ形状物へのDLCコーティング-プラズマ挙動解析

使用双极 PBII 方法在沟槽形状物体上进行 DLC 涂层 - 等离子体行为分析

• 发表时间: 2013
• 作者: 平田祐樹;朴元淳;加藤孝久;崔埈豪
• 通讯作者: 崔埈豪