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Digital hologram measurements of thermohydrodynamic behavior at a thermally-assisted UV nanoimprint process

Digital hologram measurements of thermohydrodynamic behavior at a thermally-assisted UV nanoimprint process
热辅助紫外纳米压印工艺中热流体动力学行为的数字全息图测量
批准号：
23560243
负责人：
SATAKE Shinichi
金额：
$3.49万
依托单位：
Tokyo University of Science
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2011
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2011 至 2013
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23560243/
关键词：
流体計測ホログラムインプリント光硬化樹脂

项目摘要

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This study reports on a technique for measuring four-dimensional flow of UV curable resin during the process of nanoimprinting by employing a micro-digital-holographic particle-tracking velocimetry (micro-DHPTV) technique. In this study, high time-resolution measurements of flow field of UV curable resin at a press process step accompanied by a heating of UV-NIL were carried. The temperature dependence of UV curable resin was evaluated by measuring the UV curable resin while varying its temperature.
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会议论文
ナノインプリント圧着過程におけるUV硬化性樹脂の4次元流動計測
纳米压印粘合过程中紫外光固化树脂的四维流动测量
DOI： --
发表时间： 2013
期刊： 第50回日本伝熱シンポジウム講演論文集
影响因子： --
作者： [S.T. Oh, K. Kariya, Y. Hamamoto, B.B. Saha, H. Mori, T. Miyazaki and S. Koyama, 海野徳幸,筒田剛,佐竹信一,谷口淳]
通讯作者： 海野徳幸,筒田剛,佐竹信一,谷口淳
Flow distribution measurements of a thin resin layer at UV-NIL process by using digital-holographic-PTV
使用数字全息 PTV 测量 UV-NIL 工艺中薄树脂层的流量分布
DOI： --
发表时间： 2013
期刊： Proc. of the 39th International Conference on Micro and Nano Engineering
影响因子： --
作者： [Noriyuki Unno, Shin-ichi Satake and Jun Taniguchi]
通讯作者： Shin-ichi Satake and Jun Taniguchi
マイクロデジタルホログラフィックPTVによるUVインプリントプロセスの計測
使用微型数字全息 PTV 测量 UV 压印工艺
DOI： --
发表时间： 2011
期刊： 日本機械学会熱工学コンファレンス2011講演論文集
影响因子： --
作者： [末光翔志, 馬場和成, 茶堂勇一, 橋本淳, 嶋田不美生, 田上公俊, 田中光太郎, 小畠健, 川波尊幸，矢作裕司, 佐竹信一,谷口淳,金井高弘,海野徳幸]
通讯作者： 佐竹信一,谷口淳,金井高弘,海野徳幸
ナノインプリント圧着過程中のUV硬化性樹脂流動に対する基板温度の影響
纳米压印粘合过程中基板温度对紫外固化树脂流动的影响
DOI： --
发表时间： 2014
期刊： 第51回日本伝熱シンポジウム講演論文集
影响因子： --
作者： [Yantao Li, Katsuya Fukuda and Qiusheng Liu, 浅野元晴,海野徳幸,佐竹信一,谷口淳]
通讯作者： 浅野元晴,海野徳幸,佐竹信一,谷口淳
共 6 条
    Three-dimensional simultaneous measurements of velocity and temperaturefield via micro-digital holographic PTV
    • 批准号：
      20560202
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.0万
    • 财政年份：
      2008
    • 负责人：
      SATAKE Shinichi
    • 依托单位：
      Tokyo University of Science
    海外基金