Development of Diaphragm for Environmental Cell Transmission Electron Microscope by Pulse Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

脉冲等离子体增强化学气相沉积环境细胞透射电镜隔膜的研制

• 批准号: 23560808
• 负责人: MATSUTANI Takaomi
• 金额: $ 3.58万
• 依托单位: Kinki University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011 至 2013
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23560808/
• 关键词: 化学気相成長法; 隔膜; 環境セル; 透過型電子顕微鏡; プラズマ; 触媒反応; アモルファス; 金ナノ粒子; 電子顕微鏡; 炭窒化ケイ素; プラズマCVD; 質量分析; ヘキサメチルジシラザン; 環境セル型透過電子顕微鏡; パルスプラズマ援用CVD; a-BCN薄膜; a-SiCN薄膜

Recently, it was reported that gold particles of less than 10 nm in diameter exhibit unique catalytic properties. Transmission electron microscopy (TEM) is useful for analyzing structures at the atomic level, but as specimens are conventionally placed under a strong vacuum, it is difficult to examine directly the relationship between the observed structures and catalytic behavior, which requires instead observation of the catalyst under reaction gas conditions.The environmental-cell (E-cell) TEM system includes a specimen holder with a small chamber to isolate the vacuum around the TEM from the reaction gas atmosphere around the specimen by means of a diaphragm. The present study turns attention to the use of amorphous boron nitride and silicon nitride films in the diaphragm of the E-cell TEM. The films were prepared using pulse plasma enhanced chemical vapor deposition. The films which were high hardness, amorphous and transparent at 200 kV electron were successfully developed.

最近，据报道，直径小于10 nm的金颗粒表现出独特的催化性能。透射电子显微镜（TEM）可用于在原子水平上分析结构，但由于样品通常放置在强真空下，因此难以直接检查观察到的结构与催化行为之间的关系，这需要在反应气体条件下观察催化剂。环境电池（E-cell）TEM系统包括具有小室的样品保持器，以通过隔膜将TEM周围的真空与样品周围的反应气体气氛隔离。本研究将注意力转向使用非晶氮化硼和氮化硅薄膜的E-细胞TEM的隔膜。采用脉冲等离子体增强化学气相沉积法制备薄膜。在200 kV电子束下，成功地制备出了高硬度、非晶态、透明的薄膜.

项目成果

Characterization of Amorphous Nitride Diaphragm for Environmental-Cell Transmission Electron Microscopy Developed by Magnetic-Field and Pulse-Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition

通过磁场和脉冲等离子体增强化学气相沉积开发的环境电池透射电子显微镜用非晶氮化物隔膜的表征

• 发表时间: 2013
• 期刊: Adv. Appl. Plasma Sci
• 作者: Kayo Yamasaki;Takaomi Matsutani;Hitoshi Nakano;Zipeng Cui;Tadahiro Kawasaki
• 通讯作者: Tadahiro Kawasaki

「磁場-パルスプラズマ援用CVDを用いた環境セル型透過電子顕微鏡用アモルファスSiCN隔膜の作製とその評価」

“使用磁场脉冲等离子体辅助 CVD 制备和评估用于环境细胞透射电子显微镜的非晶 SiCN 隔膜”

• 发表时间: 2013
• 作者: K. Yamasaki;T. Matsutani;H. Nakano;Z. Cui;T. Kawasaki;山﨑佳代,松谷貴臣,中野人志,崔子鵬,川﨑忠寛
• 通讯作者: 山﨑佳代,松谷貴臣,中野人志,崔子鵬,川﨑忠寛

「HMDSNを用いた磁場-パルスプラズマ援用化学気相成長法による環境セル型透過電子顕微鏡用a-SiCN隔膜の特性評価」

“通过使用 HMDSN 的磁场脉冲等离子体辅助化学气相沉积来评估用于环境细胞透射电子显微镜的 a-SiCN 隔膜的特性”

• 发表时间: 2012
• 作者: Kayo YAMASAKI;Hidenori TSUTSUI;Takaomi MATSUTANI;Tadahiro KAWASAKI;山﨑佳代,松谷貴臣,中野人志,崔子鵬,川﨑忠寛;山﨑佳代,松谷貴臣,中野人志,崔子鵬,川﨑忠寛
• 通讯作者: 山﨑佳代,松谷貴臣,中野人志,崔子鵬,川﨑忠寛

Diaphragm for Transmission Electron Microscope with Environmental-Cell System Developed by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

具有等离子体增强化学气相沉积开发的环境电池系统的透射电子显微镜隔膜

• 发表时间: 2011
• 作者: T. Matsutani;K. Yamasaki;H. Tsutsui;T. Kawasaki
• 通讯作者: T. Kawasaki

「環境セル型透過電子顕微鏡用窒化物隔膜の開発」

《环境细胞型透射电子显微镜用氮化物隔膜的开发》

• 发表时间: 2012
• 作者: Kayo YAMASAKI;Hidenori TSUTSUI;Takaomi MATSUTANI;Tadahiro KAWASAKI;山﨑佳代,松谷貴臣,中野人志,崔子鵬,川﨑忠寛;山﨑佳代,松谷貴臣,中野人志,崔子鵬,川﨑忠寛;崔子鵬,今枝紀裕,川﨑忠寛,丹司敬義,山﨑佳代,松谷貴臣;山﨑佳代,松谷貴臣,川﨑忠寛
• 通讯作者: 山﨑佳代,松谷貴臣,川﨑忠寛