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Subsurface damage recovery of single crystal silicon by ultra-short high-output flash lamp irradiation

Subsurface damage recovery of single crystal silicon by ultra-short high-output flash lamp irradiation
超短高输出闪光灯照射单晶硅亚表面损伤修复
批准号：
23656094
负责人：
YAN Jiwang
金额：
$2.58万
依托单位：
Keio University (2012)Tohoku University (2011)
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
财政年份：
2011
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2011 至 2012
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23656094/
关键词：
超精密加工加工変質層単結晶シリコンフラッシュランプレーザ加工欠陥

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Ultra-short pulsed high-output flash lamp irradiation was used torecover subsurface damage of silicon surfaces after mechanical machining. The subsurfacemicrostructural changes due to lamp irradiation were experimentally characterized andthe damage recove
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Laser recovery of machining damage under curved silicon surface
DOI： 10.1016/j.cirp.2013.03.109
发表时间： 2013
期刊： Cirp Annals-manufacturing Technology
影响因子： 4.1
作者： [Jiwang Yan;Fuminori Kobayashi]
通讯作者： Jiwang Yan;Fuminori Kobayashi
Atomic subsurface integrity improvement for curved and microstructured silicon surface by laser irradiation
通过激光照射改善弯曲和微结构硅表面的原子次表面完整性
DOI： --
发表时间： 2012
期刊：
影响因子： --
作者： [J. Yan, F. Kobayashi, M. Kubo, T. Kuriyagawa]
通讯作者： T. Kuriyagawa
レーザ照射による単結晶シリコン加工変質層の修復
激光辐照修复单晶硅损伤层
DOI： --
发表时间： 2011
期刊：
影响因子： --
作者： [M.R.Zainudin,Y.Ishida, S.Yoshida, J.Ikeno, 閻　紀旺, Makoto SASAKI,Junichi IKENO, 小林史典，閻 紀旺，久保百司，厨川常元]
通讯作者： 小林史典，閻 紀旺，久保百司，厨川常元
Atomic subsurface integrity improvement for curved and micro-structured silicon surface by laser irradiation
通过激光照射改善弯曲和微结构硅表面的原子次表面完整性
DOI： --
发表时间： 2012
期刊：
影响因子： --
作者： [J. Yan, F. Kobayashi, M. Kubo, and T. Kuriyagawa]
通讯作者： and T. Kuriyagawa
Fabrication of ultraprecision aspherical molds on high-strengthmaterials by tool-swinging cutting with nanoparticle lubrication
High-Accuracy Glass Molding Press for Ultrathin Fresnel Lenses
  • 批准号：
    19360055
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $12.56万
  • 财政年份：
    2007
  • 负责人：
    YAN Jiwang
  • 依托单位：
    Tohoku University
海外基金