Accurate process planning of MEMS devices using multi-resolution mesh models

使用多分辨率网格模型准确规划 MEMS 器件的工艺

• 批准号: 23656112
• 负责人: KANAI Satoshi
• 金额: $ 2.33万
• 依托单位: Hokkaido University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23656112/
• 关键词: MEMS, 工程設計; 形状モデリング; ソリッドモデル; メッシュモデル; MEMS; 工程設計

The objective of this study is to enable designers who are not necessarily the experts on MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) manufacturing processes to easily plan the feasible and low-cost manufacturing processes of MEMS devices. To achieve this, a prototype of the computer-aided process planning system of MEMS devices was developed where (1) all feasible process plans of the device could be searched for and (2) device shapes and structures easier to fabricate could be estimated automatically based on the multi-resolution mesh model of the devices.

这项研究的目的是使不一定是MEMS(微电子机械系统)制造工艺专家的设计师能够轻松地规划出可行的、低成本的MEMS器件制造工艺。为此，开发了一个基于多分辨率网格模型的MEMS器件计算机辅助工艺规划系统原型，该原型系统可以搜索到所有可行的器件工艺方案，并且可以根据器件的多分辨率网格模型自动估计更容易制造的器件形状和结构。

项目成果

段階的 ODTスムージングによる寸法駆動変形メッシ ュの品質改善

通过逐步 ODT 平滑提高尺寸驱动变形网格的质量

• 发表时间: 2012
• 作者: Hiroyuki Miki;Atsushi Tsutsui;Takanori Takeno;Toshiyuki Takagi;三石直人,村上存,池田卓美,青井清一;前濱宏樹,伊達宏昭,金井理
• 通讯作者: 前濱宏樹,伊達宏昭,金井理

段階的ODTスムージングによる寸法駆動変形メッシュの品質改善

通过逐步 ODT 平滑提高尺寸驱动变形网格的质量

• 发表时间: 2012
• 作者: Kyohei Naito;Hiroyuki Miki;Michel Belin;Toshiyuki Takagi;前濱宏樹
• 通讯作者: 前濱宏樹

形状モデルを用いた3次元環境計測データからの対象認識に関する研究 -同一形状物体を複数含む環境認識-

使用形状模型对3D环境测量数据进行物体识别的研究-包括多个相同形状物体的环境识别-

• 发表时间: 2012
• 作者: 内藤恭平;三木寛之;高木敏行;Michel Belin;東 翔也;金田脩佑
• 通讯作者: 金田脩佑

Automatic recognition of piping system from large-scale terrestrial laser scan data

从大规模地面激光扫描数据中自动识别管道系统

• 发表时间: 2011
• 期刊: Proceedings of ISPRS Workshop Laser Scanning 2011
• 作者: Satoshi Kanai;Takayuki Shibata and Takahiro Kawashima;花山良平,石井勝弘;Satoshi Kanai;R. Hanayama and K. Hibino;Hiroaki Date;花山 良平;Kazuaki Kawashima
• 通讯作者: Kazuaki Kawashima

メッシュ適合に基づくボイドを含む製品の解析メッシュ生成

基于网格拟合的带空隙产品的分析网格生成

• 发表时间: 2011
• 作者: 内藤恭平;三木寛之;高木敏行;Michel Belin;東 翔也;金田脩佑;松尾繁樹;東 翔也
• 通讯作者: 東 翔也