Prozesstechnische Ursachen für das Zustandekommen und die Erzeugung der spezifischen Materialeigenschaften in Abhängigkeit von der Depositgeometrie (A8/9)
Prozesstechnische Ursachen für das Zustandekommen und die Erzeugung der spezifischen Materialeigenschaften in Abhängigkeit von der Depositgeometrie (A8/9)
取决于沉积几何形状的特定材料特性的出现和生成的与工艺相关的原因 (A8/9)
批准号：
5421360
负责人：
金额：
$0.0万
依托单位国家：
德国
项目类别：
Collaborative Research Centres
财政年份：
2004
资助国家：
德国
项目状态：
未结题
起止时间：
2003-12-31 至 --
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