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Low temperature synthesis of a Mg2Si thin film with help of plasma

Low temperature synthesis of a Mg2Si thin film with help of plasma
等离子体辅助低温合成 Mg2Si 薄膜
批准号:
25400530
负责人:
IKEHATA TAKASHI
金额:
$3.24万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份:
2013
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2013-04-01 至 2016-03-31

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影响因子: --
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通讯作者: 鵜殿治彦
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通讯作者: 鵜殿治彦
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通讯作者: 高木雄太,佐藤直幸,池畑隆,鵜殿治彦
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