Elektrochemisches Verhalten und Charakterisierung von C-EBID-Nanomasken (C-EBID = durch elektronenstrahlinduzierte Abscheidung hergestellte Kohlenstoffschicht)

C-EBID 纳米掩模的电化学行为和表征（C-EBID = 电子束诱导沉积产生的碳层）

基本信息

批准号：
5424009
负责人：
Professor Dr. Patrik Schmuki
金额：
--
依托单位：
Lehrstuhl für Korrosion und Oberflächentechnik
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants
财政年份：
2004
资助国家：
德国
起止时间：
2003-12-31 至 2009-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5424009?language=en
关键词：
Elektrochemisches Verhalten und Charakterisierung von

项目摘要

Nanostrukturierte Oberflächen spielen eine zentrale Rolle bei der Entwicklung neuartiger Hochleistungs-Funktionswerkstoffe. Ziel des Forschungsvorhabens ist es, eine am Lehrstuhl des Projektleiters eingeführte elektrochemische Nanostrukturierungsmethode weiter zu erforschen und zu entwickeln. Die Methode besteht aus zwei Schritten: 1) In einem REM werden Kohlenwasserstoffe (Precursor) unter der Wirkung des Elektronenstrahls lokal zu einer festen - elektrisch isolierenden - Kohlenstoffabscheidung zersetzt. 2) Eine elektrochemische Reaktion (Abscheidung - oder Auflösung) wird auf der Oberfläche durchgeführt und findet nur an den nicht kohlenstoffmaskierten Stellen statt. Eine laterale Auflösung im 10 - 100 nm-Bereich ist möglich. Die Hauptschwachstelle der bisherigen Untersuchungen - der relativ undefinierte Precursor (Pumpenöl im Vakuum) - soll eliminiert werden. Damit wird es möglich, den Prozess detailliert zu untersuchen, die kritischen Mechanismen und Faktoren (Zusammensetzung, Struktur der Deposits) und vor allem die Zusammenhänge zur elektrochemischen Reaktivität der Masken herauszuarbeiten. Damit soll die Grundlage zu einem kontrollierten und effizienten Einsatz der Methode in der Forschung und in technologischen Anwendungen z. B. "Quantumdots and -wires", magnetische oder katalytische Strukturen, Andockstellen für bioaktive Substanzen oder die nanoskalige Unterdrückung von Korrosion geschaffen werden.

Nanostrukturierteoberflächenspielen eine zentrale bei der entwicklung neuarartiger hochleistungs-funktionswerkstoffe。 Ziel des Forschungsvorhabens est es，Eine Am Lehrstuhl des ProjektleersEingeführteElektrochemische nanostrukturierungsmethode weiter zu Erforschen und zu entwickeln。 Die Methode Besteht Aus Zwei Schritten：1）在Einem Rem Werden Kohlenwassoffe（前代）中，Unter der der wirkung der elektronenstrahls lokal zu eineren -eineren festen -elektrisch ielktrisch ielfiererenden -kohlenstoffabscheidung zersetzt。 2）Eine Elektrochemische Reaktion（Abscheidung -Oderauflösung）Wird auf deroberflächeDurchgeführt和Findet undet nur an den nich nich nich nicht kohlenstoffmaskierten stallen stallen Statt。 Eine hernaleauflösungim 10-100 nm -bereich istmöglich。 Die Hauptschwachstelle der bisherigen Untersuchungen -der Relativ undefinierte前体（Pumpenölim vakuum）-soll uniziniert werden。在der forschung und B中的Damit Sol Die Grundlage Zu Einem Kontrollierten和Effizienten方法。“ Quantumdots and -wires”，Magnetische strukturen和生物蛋白的Optanzen Oder oder oder nanoskalige die nanoskaligeunterdrückunddrückunddrückungvonddrückungvonddrückundvon kortrososion geschaffen werden werden werden werden werden。