Elektrochemisches Verhalten und Charakterisierung von C-EBID-Nanomasken (C-EBID = durch elektronenstrahlinduzierte Abscheidung hergestellte Kohlenstoffschicht)

这是一种新型的中性粒子体结构。这是一种新型的电化学法，它是一种新型的电化学法。方法是：1)在Einem REM中，在Wirkung des Elektronenstrahls Lokal zu einer Festen-elektrisch isolierenden-Kohlenstoffabscheidung zersetzt下，是Kohlenwasserstoffe(前身)。2)一种电化学反应(Abscheidung-oder AuflöSong)将从Oberfläche duchgeführt and findet Nur an den Nicht KohlenstoffMaskikierten StellenEine laterale AuflöSong im 10-100 nm-Bereich ist möglich.在相对不确定的前兆(PumpenenöL im Vakuum)下，Dauptschwachstelle der Bisherigen Untersusuhungen-der-soll liminiert被发现。它将是Möglich，den Prozess Detulliert zu unteruchenen，die kritischen机械师和Faktoren(Zusamensetzung，Strukturder Payments)和Vor allem de Zusammenhänge zur ElectrectroChemischen Reakmo ität der Masken herouszuarbeiten。从技术上来说，这是一种有效的控制方法。“量子点和金属丝”，磁性材料和磁性材料，Andockstellen für生物吸收材料和纳米晶片下的von Korrosion geschaffen是。

Nanostrukturierte Oberflächen spielen eine zentrale Rolle bei der Entwicklung neuartiger Hochleistungs-Funktionswerkstoffe. Ziel des Forschungsvorhabens ist es, eine am Lehrstuhl des Projektleiters eingeführte elektrochemische Nanostrukturierungsmethode weiter zu erforschen und zu entwickeln. Die Methode besteht aus zwei Schritten: 1) In einem REM werden Kohlenwasserstoffe (Precursor) unter der Wirkung des Elektronenstrahls lokal zu einer festen - elektrisch isolierenden - Kohlenstoffabscheidung zersetzt. 2) Eine elektrochemische Reaktion (Abscheidung - oder Auflösung) wird auf der Oberfläche durchgeführt und findet nur an den nicht kohlenstoffmaskierten Stellen statt. Eine laterale Auflösung im 10 - 100 nm-Bereich ist möglich. Die Hauptschwachstelle der bisherigen Untersuchungen - der relativ undefinierte Precursor (Pumpenöl im Vakuum) - soll eliminiert werden. Damit wird es möglich, den Prozess detailliert zu untersuchen, die kritischen Mechanismen und Faktoren (Zusammensetzung, Struktur der Deposits) und vor allem die Zusammenhänge zur elektrochemischen Reaktivität der Masken herauszuarbeiten. Damit soll die Grundlage zu einem kontrollierten und effizienten Einsatz der Methode in der Forschung und in technologischen Anwendungen z. B. "Quantumdots and -wires", magnetische oder katalytische Strukturen, Andockstellen für bioaktive Substanzen oder die nanoskalige Unterdrückung von Korrosion geschaffen werden.