Elektrochemisches Verhalten und Charakterisierung von C-EBID-Nanomasken (C-EBID = durch elektronenstrahlinduzierte Abscheidung hergestellte Kohlenstoffschicht)
C-EBID 纳米掩模的电化学行为和表征(C-EBID = 电子束诱导沉积产生的碳层)
基本信息
- 批准号:5424009
- 负责人:
- 金额:--
- 依托单位:
- 依托单位国家:德国
- 项目类别:Research Grants
- 财政年份:2004
- 资助国家:德国
- 起止时间:2003-12-31 至 2009-12-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
Nanostrukturierte Oberflächen spielen eine zentrale Rolle bei der Entwicklung neuartiger Hochleistungs-Funktionswerkstoffe. Ziel des Forschungsvorhabens ist es, eine am Lehrstuhl des Projektleiters eingeführte elektrochemische Nanostrukturierungsmethode weiter zu erforschen und zu entwickeln. Die Methode besteht aus zwei Schritten: 1) In einem REM werden Kohlenwasserstoffe (Precursor) unter der Wirkung des Elektronenstrahls lokal zu einer festen - elektrisch isolierenden - Kohlenstoffabscheidung zersetzt. 2) Eine elektrochemische Reaktion (Abscheidung - oder Auflösung) wird auf der Oberfläche durchgeführt und findet nur an den nicht kohlenstoffmaskierten Stellen statt. Eine laterale Auflösung im 10 - 100 nm-Bereich ist möglich. Die Hauptschwachstelle der bisherigen Untersuchungen - der relativ undefinierte Precursor (Pumpenöl im Vakuum) - soll eliminiert werden. Damit wird es möglich, den Prozess detailliert zu untersuchen, die kritischen Mechanismen und Faktoren (Zusammensetzung, Struktur der Deposits) und vor allem die Zusammenhänge zur elektrochemischen Reaktivität der Masken herauszuarbeiten. Damit soll die Grundlage zu einem kontrollierten und effizienten Einsatz der Methode in der Forschung und in technologischen Anwendungen z. B. "Quantumdots and -wires", magnetische oder katalytische Strukturen, Andockstellen für bioaktive Substanzen oder die nanoskalige Unterdrückung von Korrosion geschaffen werden.
Nanostrukturierte Oberflächen spielen eine zentrale Rolle bei der Entwicklung neuartiger Hoozistungs-Funktionswerkstoffe. Ziel des Forschungsvorhabens is es,eine am Lehrstuhl des Projektleiters eingeführte elektrochemische Nanostrukturierungsmethode weiter zu erforschen und zu entwickeln.最好的方法有两种:1)在REM中,在电子束的局部激励下产生韦尔登波(前体)。2)一个电化学反应(Abscheidung - oder Auflösung)将通过Oberfläche durchgeführt并发现努尔an den nicht kohlenstoffmaskierten Stelllen statt。在10 - 100 nm范围内横向增强是非常重要的。Die Hauptschwachstelle der bisherigen Untersuchungen - der relativ undefinierte Precursor(Pumpenöl im Vakuum)- soll eliminiert韦尔登. Damit wird es möglich,den Prozess detailliert zu untersuchen,die kritischen Mechanismen und Faktoren(Zusammensetzung,Struktur der Deposits)und vor allem die Zusammenhänge zur elektrochemischen Reaktivität der Masken herauszuarbeiten.在研究和技术方面,必须有一个控制和有效的方法。B。“量子点和线”,magnetische oder katalytische Strukturen,Andockstellen für bioaktive Substanzen oder die nanoskelige Unterdrückung von Korrosion geschaffen韦尔登。
项目成果
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