Elektrochemisches Verhalten und Charakterisierung von C-EBID-Nanomasken (C-EBID = durch elektronenstrahlinduzierte Abscheidung hergestellte Kohlenstoffschicht)

纳米结构研究中心：纳米结构研究中心：纳米结构研究中心：纳米结构研究中心：纳米结构研究中心：纳米结构研究中心：纳米结构研究中心[2] [1] [3] [1] [1] [3] [1] [3] [1] [4] [1] [4] [4]1) In einem REM werden Kohlenwasserstoffe（前兆）In der Wirkung des Elektronenstrahls local zu einer festen - elektrisch isolierenden - Kohlenstoffabscheidung zersetzt。2)电化学反应（Abscheidung - oder Auflösung）与研究进展Oberfläche durchgef<s:1> hrt和findet nur and den night kohlenstoffmaskierten stelen statt。Eine lateral Auflösung in 10 - 100 nm-Bereich ist möglich。相对不确定前驱体（Pumpenöl in vacuum） - soll eliminiert werden。Damit wird es möglich, den Prozess detailliert zutersuchen, die kritischen mechanicmen and Faktoren (Zusammensetzung, Struktur der Deposits) and or allem die Zusammenhänge zur electrochemischen Reaktivität der Masken herauszuarbeiten。[j] .中国工业大学学报（自然科学版）。“量子点与量子线”，磁性、催化、结构、生物活性物质、晶体、纳米材料，<s:1>化学与化学工程学报”。

Nanostrukturierte Oberflächen spielen eine zentrale Rolle bei der Entwicklung neuartiger Hochleistungs-Funktionswerkstoffe. Ziel des Forschungsvorhabens ist es, eine am Lehrstuhl des Projektleiters eingeführte elektrochemische Nanostrukturierungsmethode weiter zu erforschen und zu entwickeln. Die Methode besteht aus zwei Schritten: 1) In einem REM werden Kohlenwasserstoffe (Precursor) unter der Wirkung des Elektronenstrahls lokal zu einer festen - elektrisch isolierenden - Kohlenstoffabscheidung zersetzt. 2) Eine elektrochemische Reaktion (Abscheidung - oder Auflösung) wird auf der Oberfläche durchgeführt und findet nur an den nicht kohlenstoffmaskierten Stellen statt. Eine laterale Auflösung im 10 - 100 nm-Bereich ist möglich. Die Hauptschwachstelle der bisherigen Untersuchungen - der relativ undefinierte Precursor (Pumpenöl im Vakuum) - soll eliminiert werden. Damit wird es möglich, den Prozess detailliert zu untersuchen, die kritischen Mechanismen und Faktoren (Zusammensetzung, Struktur der Deposits) und vor allem die Zusammenhänge zur elektrochemischen Reaktivität der Masken herauszuarbeiten. Damit soll die Grundlage zu einem kontrollierten und effizienten Einsatz der Methode in der Forschung und in technologischen Anwendungen z. B. "Quantumdots and -wires", magnetische oder katalytische Strukturen, Andockstellen für bioaktive Substanzen oder die nanoskalige Unterdrückung von Korrosion geschaffen werden.