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AFM-induzierte Nanostrukturierung von Silizium-Oberflächen

AFM 诱导的硅表面纳米结构

基本信息

批准号：
5317076
负责人：
Professor Dr. Patrik Schmuki
金额：
--
依托单位：
Lehrstuhl für Korrosion und Oberflächentechnik
依托单位国家：
德国
项目类别：
Priority Programmes
财政年份：
2001
资助国家：
德国
起止时间：
2000-12-31 至 2003-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5317076?language=en
关键词：
AFM induzierte Nanostrukturierung von Silizium

项目摘要

Ziel des Vorhabens ist die Untersuchung der selektiven elektrochemischen Abscheidung von Metallen an mechanisch induzierten Defekten auf Halbleiteroberflächen. Zu diesem Zweck werden mit einer AFM-Spitze nanoskalige Defekte in einer Silizium-Oberfläche durch Abrastern der Oberfläche unter erhöhtem Druck auf die Spitze generiert. Die Reaktivität und Selektivität der so erzeugten mechanischen Defekte für die elektrochemische Abscheidung von Metallen wird anschließend untersucht. Bisherige Ergebnisse zeigen deutlich, daß die unter kathodischer Polarisierung elektronisch blockierende Oberfläche von p-Silizium durch die Defektinduzierung eine Aktivierung für die Abscheidung von Metallen erfährt. Eine bedeutend höhere Selektvität wird erreicht, wenn der AFM-Kratzvorgang an einer oxidbedeckten Oberfläche durchgeführt wird, da der auf der Silizium-Oberfläche vorhandene native Oxidfilm (native oxid layer, NOL) isolierend für elektrochemische Reaktionen wirkt. Diese Eigenschaft ermöglicht es zusätzlich, den Oxidfilm als Maske für selektive Metallabscheidung zu benutzen. Durch diesen neuartigen Ansatz kann bei Variation der Dicke des Oxidfilms und der Optimierung der elektrochemischen Parameter die Erzeugung von nanoskaligen metallischen Nanostrukturen auf Halbleitern direkt elektrochemisch erfolgen.

齐尔·德·沃哈本斯是一位精选的电化学师，也是一家机械工业的供应商。Zu diesem Zweck在einer Silizium-Oberfläche duch Abrastein der Oberfläche Unter erhöhtem Druck auf die Spitze Generiert中被AFM-Spitze Nanoskate de Defekte For MIT einer AFM-Spitze Nanoskate e Defekte in einer Silizium-Oberfläche duch Abrastein der Oberfläche Unter Erhöhtem Druck auf die Spitze Generiert。这是一种全新的电化学反应和选择机制，它是一种电化学反应。Bisherige Ergebnisse zeigen deutlich，da？die die der ter kathodischer polarisierung elektronisch block ierende Oberfläche von p-Silizium duch die Defektduzierung eine Aktivierung für die Abscheidung von Metallen Erfähr.这是一个错误的选择，从AFM-KratzvOrgang到Oberfläche duchgeführt wird，da der auf der Silizium-Oberfläche Vorhandene Native Oxid膜(Native Oxid Layer，NOL)是一种新的电化学反应。我的工作就是工作，你需要做的就是做好这份工作。通过对氧化膜和电化学反应参数的优化，实现了纳米金属结构的变化和电化学反应。