Modifiziertes Puls-Arc-Verfahren mit Magnetfeldführung

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Das Ziel des geplanten Forschungsvorhaben besteht darin, für das modifizierte Puls-Arc-Verfahren eine Möglichkeit zu schaffen, den Prozess durch ein veränderliches, dem Bogenstrom angepasstes Magnetfeld zu beeinflussen. Das modifizierte Pills-Arc-Verfahren ist durch die Variationsmöglichkeiten der elektrischen Parameter in weiten Grenzen beeinflussbar. Eine Kombination des Verfahrens mit dem Steered-Arc-Verfahren hat erste Erkenntnisse auf dem Gebiet der magnetischen Beeinflussung des modifizierten Puls-Arc-Verfahrens erbracht. Ein entscheidender Nachteil ist bisher jedoch, die fehlende Möglichkeit das Magnetfeld dem Prozess anzupassen. Die Steuerung eines externen Magnetfeldes während der Verfahrenskombination von Steered-Arc- und modifizierten Puls-Arc-Prozess gibt diesem Verfahren neue Freiheitsgrade. Die vorgesehenen Untersuchungen tragen zu einem besseren Verständnis der grundlegenden Zusammenhänge zwischen den elektrischen und magnetischen Parametern und den resultierenden Plasmaeigenschaften und Schichten bei.