Computational Analysis of Defects in the Directed-Self Assembly of Block Copolymer

嵌段共聚物定向自组装缺陷的计算分析

• 批准号: 25800237
• 负责人: YOSHIMOTO Kenji
• 金额: $ 2.5万
• 依托单位: Kyoto University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2013
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2013-04-01 至 2015-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-25800237/
• 关键词: DSA; 誘導自己組織化; ブロック共重合体; 欠陥構造; 欠陥ダイナミクス; 大規模シミュレーション; ホールシュリンク; ブロックコポリマー; シミュレーション; モデル; リソグラフィ; 微細加工

项目成果

Optimization of directed self-assembly hole shrink process with simplified model

简化模型定向自组装缩孔工艺优化

• DOI: 10.1117/1.jmm.13.3.031305
• 发表时间: 2014
• 期刊: JOURNAL OF MICRO/NANOLITHOGRAPHY, MEMS, AND MOEMS
• 作者: Kenji Yoshimoto;Ken Fukawatase;Masahiro Ohshima;Yoshihiro Naka;Shimon Maeda;Satoshi Tanaka;Seiji Morita;Hisako Aoyama;Shoji Mimotogi
• 通讯作者: Shoji Mimotogi

ブロックコポリマーを用いた微細加工プロセスのモデリングと最適化

使用嵌段共聚物对微加工工艺进行建模和优化

• 发表时间: 2014
• 作者: 吉元 健治;深渡瀬 健;大嶋 正裕
• 通讯作者: 大嶋 正裕

Effects of Thermal Fluctuations and Block Copolymers Compositions on Defects in Directed Self-assembly Contact Hole Shrink Process

热波动和嵌段共聚物成分对定向自组装接触孔收缩工艺缺陷的影响

• 发表时间: 2014
• 作者: K. Fukawatase;K. Yoshimoto;Y. Naka;S. Maeda;S. Tanaka;S. Morita;H. Aoyama;S. Mimotogi
• 通讯作者: S. Mimotogi

DFM for defect-free DSA hole shrink process

用于无缺陷 DSA 缩孔工艺的 DFM

• 发表时间: 2014
• 作者: Ken Fukawatase;Kenji Yoshimoto;Masahiro Ohshima;Yoshihiro Naka;Shimon Maeda;Satoshi Tanaka;Seiji Morita;Hisako Aoyama;Shoji Mimotogi
• 通讯作者: Shoji Mimotogi