Computational Analysis of Defects in the Directed-Self Assembly of Block Copolymer
Computational Analysis of Defects in the Directed-Self Assembly of Block Copolymer
嵌段共聚物定向自组装缺陷的计算分析
批准号：
25800237
负责人：
YOSHIMOTO Kenji
金额：
$2.5万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2013
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2013-04-01 至 2015-03-31
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DOI：
10.1117/1.jmm.13.3.031305
发表时间：
2014
期刊：
JOURNAL OF MICRO/NANOLITHOGRAPHY, MEMS, AND MOEMS
影响因子：
--
作者：
[Kenji Yoshimoto, Ken Fukawatase, Masahiro Ohshima, Yoshihiro Naka, Shimon Maeda, Satoshi Tanaka, Seiji Morita, Hisako Aoyama, Shoji Mimotogi]
通讯作者：
Shoji Mimotogi
ブロックコポリマーを用いた微細加工プロセスのモデリングと最適化
使用嵌段共聚物对微加工工艺进行建模和优化
使用嵌段共聚物对微加工工艺进行建模和优化
DOI：
--
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
作者：
[吉元 健治, 深渡瀬 健, 大嶋 正裕]
通讯作者：
大嶋 正裕
Effects of Thermal Fluctuations and Block Copolymers Compositions on Defects in Directed Self-assembly Contact Hole Shrink Process
热波动和嵌段共聚物成分对定向自组装接触孔收缩工艺缺陷的影响
热波动和嵌段共聚物成分对定向自组装接触孔收缩工艺缺陷的影响
DOI：
--
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
作者：
[K. Fukawatase, K. Yoshimoto, Y. Naka, S. Maeda, S. Tanaka, S. Morita, H. Aoyama, S. Mimotogi]
通讯作者：
S. Mimotogi
DFM for defect-free DSA hole shrink process
用于无缺陷 DSA 缩孔工艺的 DFM
用于无缺陷 DSA 缩孔工艺的 DFM
DOI：
--
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Ken Fukawatase, Kenji Yoshimoto, Masahiro Ohshima, Yoshihiro Naka, Shimon Maeda, Satoshi Tanaka, Seiji Morita, Hisako Aoyama, Shoji Mimotogi]
通讯作者：
Shoji Mimotogi
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