Abscheidung und Implantation von Kohlenstoff aus Kohlenwasserstoffplasmen mit Plasma Immersions Ionenimplantation

等离子体浸没离子注入（PIII）是一种通过高能离子束对材料进行改性的方法。您正在寻找一种替代方法来建立离子注入的工业惯例。但是，PIII是一种非常简单的离子植入方法，它不会使离子植入过程变得简单，也不会使患者的操作变得简单。对于一个Anwendung fehlt es allerdings stellenweise stark am grundwellden Verständnis. PIII wurde und wird meist努尔mit Elementen betrieben，welche unter Normalbedingungen gasförmig sind，hauptsächlich Stickstoff und Sauerstoff，womit man nitrieren und oxidieren möchte.在离子植入术中，使用PIII的人也可以使用Kohlenstoff植入。在离子植入术后，人们发现，PIII的植入过程更加复杂。这是一个项目，PIII与Kohlenwasserstoffen一起工作。这是一个具有相关技术的模型系统，包括Silizium-和Borkabid，Titan-和Tantalkarbid。在Abhängigkeit von den Prozessparametern studiert中，Karbidschichten韦尔登具有独特的特征和特征。

Plasma-Immersions Ionenimplantation (PIII) ist eine auf dem Weg zur Anwendung befindliche Methode zur Modifikation von Materialien durch Bestrahlung mit hochenergetischen Ionen. Sie stellt eine Alternative zur industriell etablierten konventionellen Ionenimplantation dar. PIII ist aber, da sie im Gegensatz zur Ionenimplantation keine aufwendige Ionenstrahl- und/oder Probenmanipulation benötigt, prozesstechnisch und vom Kostenaufwand her ein weitaus einfacherer Prozess als Ionenimplantation. Für eine Anwendung fehlt es allerdings stellenweise stark am grundlegenden Verständnis. PIII wurde und wird meist nur mit Elementen betrieben, welche unter Normalbedingungen gasförmig sind, hauptsächlich Stickstoff und Sauerstoff, womit man nitrieren und oxidieren möchte. Wie bei der Ionenimplantation möchte man mit PIII aber auch Kohlenstoff implantieren können. Während dies bei der Ionenimplantation aber relativ einfach ist, hat man es bei der PIII mit einem komplexen noch unverstandenen Prozess zu tun. Ziel des vorliegenden Projektes ist es, PIII mit Kohlenwasserstoffen zu untersuchen. Dies soll geschehen an Modellsystemen mit technischer Relevanz, nämlich Silizium- und Borkabid sowie Titan- und Tantalkarbid. Die Karbidschichten werden ausführlich charakterisiert und ihre Eigenschaften in Abhängigkeit von den Prozessparametern studiert.