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Development of a novel 2D MEMS mirror combining different materials

Development of a novel 2D MEMS mirror combining different materials
结合不同材料开发新型 2D MEMS 反射镜
批准号：
26289067
负责人：
Suzuki Takaaki
金额：
$10.65万
依托单位：
Gunma University (2015-2016)Kagawa University (2014)
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2014
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2014-04-01 至 2017-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-26289067/
关键词：
ナノマイクロメカトロニクスMEMSミラー異種材料マイクロ・ナノデバイスマイクロファブリケーションフォトリソグラフィ

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Development of Low Fluorescence Thick Photoresist for High Aspect Ratio Microstructures in Bio Application
生物应用中高深宽比微结构低荧光厚光刻胶的开发
DOI： --
发表时间： 2014
期刊：
影响因子： --
作者： [H. Tamai, K. Maruo, H. Kotera and T. Suzuki]
通讯作者： H. Kotera and T. Suzuki
Three-Dimensional UV Photolithography Using Thick Photoresist for Microsystems
使用厚光刻胶进行微系统三维紫外光刻
DOI： --
发表时间： 2016
期刊：
影响因子： --
作者： [M.Koeda, A.Tsukushi, H.Noborio, K.Onishi, K.Mizushino, T.Kunii, K.Watanabe, M.Kaibori, K.Matsui, M.Kwon, Takaaki Suzuki]
通讯作者： Takaaki Suzuki
Development of low-fluorescence thick photoresist for high-aspect-ratio microstructure in bio-application
DOI： 10.1063/1.4917511
发表时间： 2015-03-01
期刊： BIOMICROFLUIDICS
影响因子： 3.2
作者： [Tamai, H., Maruo, K., Suzuki, T.]
通讯作者： Suzuki, T.
バイオ及び医療向けマイクロ／ナノデバイスに関する研究
生物及医疗应用微纳器件研究
DOI： --
发表时间： 2016
期刊：
影响因子： --
作者： [鈴木孝明]
通讯作者： 鈴木孝明
共 43 条
    Mechanical metamaterial design theory and its application to wearable vibration energy harvesting technology
    • 批准号：
      20H02095
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $11.23万
    • 财政年份：
      2020
    • 负责人：
      Suzuki Takaaki
    • 依托单位：
      Gunma University
    Adjustment of Interests among Multiple Parties - Droit Civil art.427: Principle of Division and art.456: Separate Interests
    Investigation of novel dose adjusting method for antibacterial drug using L-FABP
    • 批准号：
      18K14946
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
    • 资助金额：
      $2.33万
    • 财政年份：
      2018
    • 负责人：
      Suzuki Takaaki
    • 依托单位：
      Chiba University
    Development of a chromosome analysis microchip for rapid evaluation of telomere length related to aging and canceration
    • 批准号：
      17H03196
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $11.32万
    • 财政年份：
      2017
    • 负责人：
      Suzuki Takaaki
    • 依托单位：
      Gunma University
    国内基金
    海外基金
    导航级MEMS陀螺能量损耗及其失配机理研究
    • 批准号：
      2026JJ50499
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
      樊波
    • 依托单位：
      南华大学
    基于MEMS惯性传感器的工业机器人标定与校正方法技术开发
    • 批准号：
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
      王捍兵
    • 依托单位：
      常州机电职业技术学院
    面向MEMS重力仪的低频噪声抑制关键技术研究
    • 批准号：
      JCZRQNB202600477
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
    • 依托单位：
      湖北光谷实验室
    用于凝血和血小板功能检测的谐振式MEMS智能传感器研发
    • 批准号：
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
      蔡先法
    • 依托单位：
      南京邮电大学