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development of ionic charge, electron density, and electron temperature measurement system for soft-X ray light sources

开发软X射线光源的离子电荷、电子密度和电子温度测量系统

基本信息

批准号：
15H05472
负责人：
Tomita Kentaro
金额：
$ 14.48万
依托单位：
Kyushu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
财政年份：
2015
资助国家：
日本
起止时间：
2015-04-01 至 2018-03-31
项目状态：
已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（0）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

Studies of Laser-produced Tin plasmas for EUV Light Sources using Collective Thomson Scattering

使用集体汤姆逊散射研究用于 EUV 光源的激光产生的锡等离子体

DOI：
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
0
作者：
K. Tomita;Y. Sato;T. Eguchi;S. Tsukiyama;K. Uchino;T. Yanagida;H. Tomuro;Y. Wada;M. Kunishima;T. Kodama;H. Mizoguchi
通讯作者：
H. Mizoguchi

Two-dimensional profiles of electron density and temperature of laser-produced tin microplasmas for extreme-ultraviolet lithography light sources

用于极紫外光刻光源的激光产生的锡微等离子体的电子密度和温度的二维分布

DOI：
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
0
作者：
K. Tomita;Y. Sato;S. Tsukiyama;R. Fukada;K. Uchino;T. Yanagida;H. Tomuro;K. Kouge;Y. Wada;M. Kunishima;T. Kodama;H. Mizoguchi
通讯作者：
H. Mizoguchi

Diagnostics of extreme-ultraviolet (EUV) light source plasmas for next generation semiconductor lithography

用于下一代半导体光刻的极紫外 (EUV) 光源等离子体的诊断

DOI：
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
0
作者：
K. Tomita;Y. Sato;S. Tsukiyama;R. Fukada;K. Uchino;T. Yanagida;H. Tomuro;K. Kouge;Y. Wada;M. Kunishima;T. Kodama;H. Mizoguchi
通讯作者：
H. Mizoguchi

Two-dimensional electron density and temperature profiles of EUV light sources with 4.0% CE

二维%20电子%20密度%20and%20温度%20profiles%20of%20EUV%20light%20sources%20with%204.0%%20CE

DOI：
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
0
作者：
K. Tomita;Y. Sato;S. Tsukiyama;R. Fukada;K. Uchino;T. Yanagida;H. Tomuro;K. Kouge;Y. Wada;M. Kunishima;T. Kodama;H. Mizoguchi
通讯作者：
H. Mizoguchi

軟X線光源用多価電離プラズマの協同トムソン散乱計測

软 X 射线光源多重电离等离子体的协同汤姆逊散射测量

DOI：
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
0
作者：
佐藤祐太;江口寿明;築山昌一;深田来夢;富田健太郎;内野喜一郎
通讯作者：
内野喜一郎

DOI：
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Tomita Kentaro其他文献

都道府県による人的被害情報の収集状況について(第２報)

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DOI：
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
0
作者：
Pan Yiming;Tomita Kentaro;Kawai Yoshinobu;Matsukuma Masaaki;Uchino Kiichiro;石塚隆之・牛山素行
通讯作者：
石塚隆之・牛山素行

Multi-energy handling of fast flavor conversions with matter collisions

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DOI：
发表时间：
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期刊：
影响因子：
0
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Chinami Kato

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DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
Japanese Journal of Applied Physics
影响因子：
1.5
作者：
Pan Yiming;Tomita Kentaro;Kawai Yoshinobu;Matsukuma Masaaki;Uchino Kiichiro
通讯作者：
Uchino Kiichiro

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DOI：
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
0
作者：
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通讯作者：
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DOI：
10.1088/1361-6463/ab58b4
发表时间：
2019
期刊：
Journal of Physics D: Applied Physics
影响因子：
0
作者：
Tomita Kentaro;Inada Yuki;Komuro Atsushi;Zhang Xiang;Uchino Kiichiro;Ono Ryo
通讯作者：
Ono Ryo