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development of ionic charge, electron density, and electron temperature measurement system for soft-X ray light sources

development of ionic charge, electron density, and electron temperature measurement system for soft-X ray light sources
开发软X射线光源的离子电荷、电子密度和电子温度测量系统
批准号：
15H05472
负责人：
Tomita Kentaro
金额：
$14.48万
依托单位：
Kyushu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
财政年份：
2015
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2015-04-01 至 2018-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-15H05472/
关键词：
軟X線光源用プラズマトムソン散乱レーザー生成プラズマ電子密度電子温度平均イオン価数難X線光源用プラズマ協同トムソン散乱電子密度・電子温度イオン価数軟X線光源プラズマ軟X線光源イオン価数計測

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Studies of Laser-produced Tin plasmas for EUV Light Sources using Collective Thomson Scattering
使用集体汤姆逊散射研究用于 EUV 光源的激光产生的锡等离子体
DOI： --
发表时间： 2015
期刊：
影响因子： --
作者： [K. Tomita, Y. Sato, T. Eguchi, S. Tsukiyama, K. Uchino, T. Yanagida, H. Tomuro, Y. Wada, M. Kunishima, T. Kodama, H. Mizoguchi]
通讯作者： H. Mizoguchi
Two-dimensional profiles of electron density and temperature of laser-produced tin microplasmas for extreme-ultraviolet lithography light sources
用于极紫外光刻光源的激光产生的锡微等离子体的电子密度和温度的二维分布
DOI： --
发表时间： 2017
期刊：
影响因子： --
作者： [K. Tomita, Y. Sato, S. Tsukiyama, R. Fukada, K. Uchino, T. Yanagida, H. Tomuro, K. Kouge, Y. Wada, M. Kunishima, T. Kodama, H. Mizoguchi]
通讯作者： H. Mizoguchi
Diagnostics of extreme-ultraviolet (EUV) light source plasmas for next generation semiconductor lithography
用于下一代半导体光刻的极紫外 (EUV) 光源等离子体的诊断
DOI： --
发表时间： 2017
期刊：
影响因子： --
作者： [K. Tomita, Y. Sato, S. Tsukiyama, R. Fukada, K. Uchino, T. Yanagida, H. Tomuro, K. Kouge, Y. Wada, M. Kunishima, T. Kodama, H. Mizoguchi]
通讯作者： H. Mizoguchi
Two-dimensional electron density and temperature profiles of EUV light sources with 4.0% CE
二维%20电子%20密度%20and%20温度%20profiles%20of%20EUV%20light%20sources%20with%204.0%%20CE
DOI： --
发表时间： 2017
期刊：
影响因子： --
作者： [K. Tomita, Y. Sato, S. Tsukiyama, R. Fukada, K. Uchino, T. Yanagida, H. Tomuro, K. Kouge, Y. Wada, M. Kunishima, T. Kodama, H. Mizoguchi]
通讯作者： H. Mizoguchi
共 6 条
    Investigation of the relationship between the conditions of High-Z ionised plasma production and radiation spectra using collective Thomson scattering.
    • 批准号：
      20H01880
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $11.73万
    • 财政年份：
      2020
    • 负责人：
      Tomita Kentaro
    • 依托单位：
      Hokkaido University
    海外基金