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協同的トムソン散乱法による軟X線光源用レーザー生成プラズマの診断

使用协同汤姆逊散射法诊断软 X 射线源激光产生的等离子体

基本信息

批准号：
18J10413
负责人：
佐藤祐太
金额：
$ 1.22万
依托单位：
Kyushu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
2018
资助国家：
日本
起止时间：
2018-04-25 至 2020-03-31
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18J10413/
关键词：
トムソン散乱光源用プラズマ EUV 軟X線レーザー生成プラズマ

项目摘要

本研究では、EUVおよび軟X線光源用レーザー生成プラズマ(LPP)の診断手法の開発を目的としている。これまで我々は、協同的トムソン散乱のイオン項を計測することで、EUV光源用プラズマの診断を達成した。しかし、更に波長が短い軟X線光源用プラズマでは、イオン項のみの計測では不十分である。そこで、イオン項に加えて電子項を同時に計測することで、軟X線光源用プラズマの診断手法の確立を目指した。まず比較的計測が容易なHeのLPPにて同時計測を行った。これにより、イオン項と電子項の同時計測が可能であることを確認した。次に、イオン項の計測実績があり、EUV光源にも用いられているSnをターゲットとしたLPPを対象に計測実験をおこなった。Snプラズマのイオン項計測の最大の障害が、ターゲット表面で反射した迷光であるのに対して、電子項計測の最大の障害はプラズマからの自発光である。イオン項に比べて信号強度が遥かに弱い電子項は、プラズマからの自発光によって容易に覆い隠されてしまうためである。また、イオン項が現れる波長域は中心波長から0.1-0.3 nm程度であるのに対して、電子項は10-20 nmと大幅に異なっている。そこで、イオン項・電子項それぞれの計測に適した分光器を開発して計測に臨んだ。イオン項はピークの間隔が広がるよう、散乱角は135°とした。一方電子項は、ピークの信号強度が大きくなるよう散乱角は45°とした。さらに、自発光と電子項の偏光特性の違いを利用することで、S/N比の改善を試みた。開発した診断システムを用いて、同時計測実験を行なった。その結果、EUV光源用プラズマに必要なパラメータの範囲で、イオン項・電子項の同時計測を達成した。また、光源プラズマの最適化に重要なパラメータを、イオン項・電子項の同時計測によって決定できることが示された。

本研究利用紫外线、超紫外线X射线光源产生的荧光猝灭（LPP）的猝灭方法实现了目标的荧光猝灭。紫外线照射我的墙板，同样的紫外线照射我的墙板，护理员的护理员，EUV光源用紫外线照射我的墙板，EUV光源用紫外线照射我的墙板。更糟糕的是，波多野结衣短X射线光源使用寿命短，而且护理人员的工作量很大，不分性别。激光，激光护理人员将激光束加到光子晶体上，激光X射线光源用激光切割的方法将激光束固定在晶体上。他比任何人都更容易被LPP起诉。これにより、イオン項と電子項の同時計測が可能であることを確認した。次要、护理人员护理负担Sn纳米管的最大伤害是由纳米管表面反射光引起的，纳米管表面反射光的最大伤害是由纳米管表面反射光引起的，纳米管表面反射光的最大伤害是由纳米管本身引起的。イオン項に比べて信号強度が遥かに弱い電子項は、プラズマからの自発光によって容易に覆い隠されてしまうためである。本发明涉及一种用于制备纳米纤维素的纳米纤维素膜，其包括纳米纤维素膜、纳米纤维素膜和纳米纤维素膜。そこで、イオン項·電子項それぞれの計測に適した分光器を開発して計測に臨んだ。イオン項はピークの間隔が広がるよう、散乱角は135°とした。一方電子項は、ピークの信号強度が大きくなるよう散乱角は45°とした。激光，自发光光子晶体的偏光特性激光利用激光束，S/N比光改善激光束。開発した診断システムを用いて、同時計測実験を行なった。石榴籽、EUV光源使用时必须先将石榴籽加工成石榴籽，再将石榴籽·橘子籽加工成石榴籽。また、光源プラズマの最適化に重要なパラメータを、イオン項·電子項の同時計測によって決定できることが示された。