Control and device application of multi-axis MEMS scanner by single driving apparatus
单驱动装置多轴MEMS扫描仪的控制及器件应用
基本信息
- 批准号:15H05514
- 负责人:
- 金额:$ 14.98万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
- 财政年份:2015
- 资助国家:日本
- 起止时间:2015-04-01 至 2018-03-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
项目成果
期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
T字型支持梁を有する2軸回転MEMSスキャナにおける共振周波数比の設計
T型支撑梁两轴旋转MEMS扫描仪谐振频率比设计
- DOI:
- 发表时间:2018
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:黒澤蓮;岩瀬英治
- 通讯作者:岩瀬英治
The Three-dimensional Actuation of the MEMS Scanner with Single Pair of Beams and Single Driving System
单对梁单驱动系统MEMS扫描仪的三维驱动
- DOI:
- 发表时间:2015
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Yohei Oguchi;Chisa Iino;Eiji Iwase
- 通讯作者:Eiji Iwase
The Design of MEMS Scanner for the Three Dimensional Actuation with a Pair of Beams
双梁三维驱动MEMS扫描仪设计
- DOI:10.1541/ieejsmas.136.448
- 发表时间:2016
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:小口陽平;飯野知紗;岩瀬英治
- 通讯作者:岩瀬英治
1対の支持梁による3次元駆動MEMSスキャナの形状設計
使用一对支撑梁的 3D 驱动 MEMS 扫描仪的形状设计
- DOI:
- 发表时间:2015
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:小口陽平;飯野知紗;岩瀬英治
- 通讯作者:岩瀬英治
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- 影响因子:0
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- DOI:
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- 影响因子:0
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- DOI:
- 发表时间:
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- 影响因子:0
- 作者:
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