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Gas permeable mold in nanoimprint lithography

Gas permeable mold in nanoimprint lithography
纳米压印光刻中的透气模具
批准号：
16K04920
负责人：
TAKEI SATOSHI
金额：
$3.16万
依托单位：
Toyama Prefectural University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2016
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2016-04-01 至 2019-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-16K04920/
关键词：
インプリント成形加工セルロース植物金型モールドガス透過多孔質ナノパターニングレジスト機能材料電子材料糖鎖リソグラフィ植物高度利用次世代農資源活用ガス透過性金型ポーラス材料多孔質化ナノインプリント微細加工分析シート

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Gas-Permeable Microimprint Template Derived from Cellulose Nanofiber Derivatives for Mechanical Properties
由纤维素纳米纤维衍生物衍生的透气微压印模板的机械性能
DOI： 10.1155/2019/5180460
发表时间： 2019
期刊： Journal of Nanomaterials
影响因子： --
作者： [Seigo Murayama, Ikuo Motono, Kento Mizui, K. Kondoh, M. Hanabata, S. Takei]
通讯作者： S. Takei
Ultraviolet nanoimprint gas-permeable templates derived from cellulose with acrylate and methacrylate groups to reduce void defects
源自具有丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯基团的纤维素的紫外线纳米压印透气模板，可减少空隙缺陷
DOI： --
发表时间： 2018
期刊： Jpn. J. Appl. Phys.
影响因子： --
作者： [Shinya Nakajima, Satoshi Takei, Soichiro Takamatsu, Kento Mizui, Toshitaka Oka, Yoko Matsumoto, Atsushi Sekiguchi, Makoto Hanabata]
通讯作者： Makoto Hanabata
High-resolution nanopatterning of biodegradable polylactide by thermal nanoimprint lithography using gas permeable mold
使用透气模具通过热纳米压印光刻技术对可生物降解聚丙交酯进行高分辨率纳米图案化
DOI： --
发表时间： 2017
期刊： AIP adv.
影响因子： --
作者： [Naoto Sugino, Satoshi Takei, Shinya Nakajima, Makoto Hanabata, Takao Kameda, Atsushi Sekiguchi, Satoshi Takei and Makoto Hanabata]
通讯作者： Satoshi Takei and Makoto Hanabata
Extreme-ultraviolet and electron beam lithography processing using water developable resist material
使用水可显影抗蚀剂材料进行极紫外和电子束光刻加工
DOI： --
发表时间： 2017
期刊：
影响因子： --
作者： [Satoshi Takei, Naoto Sugino, Makoto Hanabata]
通讯作者： Makoto Hanabata
共 47 条
    Fundamental study of green EUV lithography using natural polysaccharide for the use of pure water in developable process
    • 批准号：
      25790036
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $2.83万
    • 财政年份：
      2013
    • 负责人：
      TAKEI SATOSHI
    • 依托单位：
      Toyama Prefectural University
    国内基金
    海外基金
    基于油包水纳米乳液的无重铸层电火花电解复合成形加工方法基础研究
    • 批准号：
      52105486
    • 项目类别：
      青年科学基金项目（C类）
    • 资助金额：
      30.0万元
    • 批准年份：
      2021
    • 负责人：
      董行
    • 依托单位：
      新疆大学
    绿色高效水基介质电火花成形加工技术研究
    • 批准号：
      51275529
    • 项目类别：
      面上项目
    • 资助金额：
      80.0万元
    • 批准年份：
      2012
    • 负责人：
      刘永红
    • 依托单位：
      中国石油大学（华东）
    材料智能化近终成形加工技术的若干基础问题
    • 批准号：
      50634010
    • 项目类别：
      重点项目
    • 资助金额：
      180.0万元
    • 批准年份：
      2006
    • 负责人：
      谢建新
    • 依托单位：
      北京科技大学
    非晶合金在过冷液体区间的变形及成形加工机理
    • 批准号：
      50471001
    • 项目类别：
      面上项目
    • 资助金额：
      28.0万元
    • 批准年份：
      2004
    • 负责人：
      张涛
    • 依托单位：
      北京航空航天大学