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Fundamental study of green EUV lithography using natural polysaccharide for the use of pure water in developable process

Fundamental study of green EUV lithography using natural polysaccharide for the use of pure water in developable process
使用天然多糖在可显影过程中使用纯水的绿色 EUV 光刻的基础研究
批准号：
25790036
负责人：
TAKEI SATOSHI
金额：
$2.83万
依托单位：
Toyama Prefectural University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2013
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2013-04-01 至 2016-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-25790036/
关键词：
水溶性微細加工極端紫外光電子線リソグラフィ水現像バイオマス糖鎖レジスト感光性植物の高度利用デンプン植物

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Ultraviolet nanoimprint lithography using cyclodextrin-based porous template for pattern failure reduction
使用基于环糊精的多孔模板的紫外纳米压印光刻可减少图案故障
DOI： --
发表时间： 2015
期刊： Appl. Phys. Lett.
影响因子： --
作者： [谷口知大, Wayne M Saslow, Satoshi Takei and Makoto Hanabata]
通讯作者： Satoshi Takei and Makoto Hanabata
Organic solvent-free sugar-based nanopatterning transparency material derived from biomass for eco-friendly optical biochips using green lithography
源自生物质的无有机溶剂糖基纳米图案透明材料，用于使用绿色光刻的环保光学生物芯片
DOI： --
发表时间： 2014
期刊：
影响因子： --
作者： [谷口知大, 今村裕志, Satoshi Takei, 竹井　敏, 竹井　敏, 竹井　敏, 竹井　敏, 竹井　敏, Satoshi Takei]
通讯作者： Satoshi Takei
Approach of natural polysaccharide to green resist polymers for EUV lithography
天然多糖制备用于 EUV 光刻的绿色抗蚀剂聚合物的方法
DOI： --
发表时间： 2014
期刊： Jpn. J. Appl. Phys.
影响因子： --
作者： [Satoshi Takei, Akihiro Oshima, Tomoko G. Oyama, Kenta Ito, Kigenn Sugahara, Miki Kashiwakura, Takahiro Kozawa, Seiichi Tagawa, Makoto Hanabata]
通讯作者： Makoto Hanabata
Restricted diffusion of guest molecules in polymer thin films on solid substrates as revealed by three-dimensional single-molecule tracking
三维单分子追踪揭示了固体基底上聚合物薄膜中客体分子的受限扩散
DOI： --
发表时间： 2015
期刊： Chem. Commun.
影响因子： --
作者： [Syoji Ito, Yuhei Taga, Kengo Hiratsuka, Satoshi Takei, Daichi Kitagawa, Seiya Kobatake and]
通讯作者： Seiya Kobatake and
共 26 条
    Gas permeable mold in nanoimprint lithography
    • 批准号：
      16K04920
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.16万
    • 财政年份：
      2016
    • 负责人：
      TAKEI SATOSHI
    • 依托单位：
      Toyama Prefectural University
    海外基金