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Study on control of plasma oxidation at an atomic level

Study on control of plasma oxidation at an atomic level
原子水平等离子体氧化控制研究
批准号：
16K04994
负责人：
SHINOHARA MASANORI
金额：
$3.16万
依托单位：
Sasebo National College of Technology (2017-2018)Nagasaki University (2016)
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2016
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2016-04-01 至 2019-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-16K04994/
关键词：
プラズマ酸化赤外分光多重内部反射表面反応炭化水素分子プラズマ酸化炭素膜エーテルテトラエトキシシランOHラジカル酸素プラズマ水素プラズマ有機分子反応制御原子レベル

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DOI： --
发表时间： 2018
期刊：
影响因子： --
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通讯作者： 篠原正典,猪原武士,柳生義人,大島多美子,川崎仁晴
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发表时间： 2016
期刊： IEEE Transactions of Plasma Science
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通讯作者： Yoshinobu Matsuda
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DOI： --
发表时间： 2018
期刊：
影响因子： --
作者： [Masanori Shinohara, Naoki Maruno, Yoshiki Takami, Susumu Takabayashi, Yoshinobu Matsuda, 篠原正典，冨永泰佑，下村勇登，猪原武士，柳生義人，大島多美子，川崎仁晴, 篠原正典,猪原武士,柳生義人,大島多美子,川崎仁晴, 篠原正典，猪原武士，柳生義人，大島多美子，川崎仁晴, 篠原正典，猪原武士，柳生義人，大島多美子，川崎仁晴, 篠原正典，猪原武士，柳生義人，大島多美子，川崎仁晴]
通讯作者： 篠原正典，猪原武士，柳生義人，大島多美子，川崎仁晴
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