Development of the 3 dimensional structural multi-layer thin film preparation processes by the back side irradiation using powder target PLD method
Development of the 3 dimensional structural multi-layer thin film preparation processes by the back side irradiation using powder target PLD method
粉末靶PLD法背面照射3维结构多层薄膜制备工艺的开发
批准号：
16K04999
负责人：
Kawasaki Hiroharu
金额：
$3.0万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2016
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2016-04-01 至 2019-03-31
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DOI：
10.7567/jjap.55.01aa08
发表时间：
2015
期刊：
Japanese Journal of Applied Physics
影响因子：
1.5
作者：
[T. Ohshima;T. Maeda;Y. Tanaka;Hiroharu Kawasaki;Y. Yagyu;T. Ihara;Y. Suda]
通讯作者：
T. Ohshima;T. Maeda;Y. Tanaka;Hiroharu Kawasaki;Y. Yagyu;T. Ihara;Y. Suda
プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例
了解反应机制、过程控制和薄膜沉积示例，以优化等离子体 CVD 中的薄膜沉积条件
了解反应机制、过程控制和薄膜沉积示例，以优化等离子体 CVD 中的薄膜沉积条件
DOI：
--
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
--
作者：
[白藤立, 松田彰久, 市川幸美, 林康明, 加藤俊顕, 鈴木弘郎, 金子俊郎, 篠原正典, 猪原武士, 柳生義人, 大島多美子, 川崎仁晴, 山田英明, 尾関和秀, 山内智, 髙洋志, 村上彰一, 東和文, 寅丸雅光, 牟田浩司, 小島洋治, 島田学, 久保優]
通讯作者：
久保優
DOI：
--
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
--
作者：
[山城梨沙, 三沢達也, 作道章一, 川崎仁晴]
通讯作者：
川崎仁晴
Preparation of several kinds of elements mixed thin films by plasma process using powder targets III
粉末靶材等离子体工艺制备多种元素混合薄膜Ⅲ
粉末靶材等离子体工艺制备多种元素混合薄膜Ⅲ
DOI：
--
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
--
作者：
[山城梨沙, 三沢達也, 作道章一, 川崎仁晴, 山城梨沙，三沢達也，作道章一, 豊川 洋一，柳生 義人，作道 章一, 川崎仁晴]
通讯作者：
川崎仁晴
粉体ターゲットスパッタリング成膜による多元素酸化物薄膜の作製
粉末靶溅射沉积制备多元氧化物薄膜
粉末靶溅射沉积制备多元氧化物薄膜
DOI：
--
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Yagyu Y, Sakudo A., 川崎 仁晴, Sakudo A., 川崎 仁晴]
通讯作者：
川崎 仁晴
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