Micro fabrication technology for the new type tactile sensor having high sensitivity and high resolution as a fingertip

指尖般高灵敏度、高分辨率的新型触觉传感器微加工技术

• 批准号: 17K01565
• 负责人: Miki Hirofumi
• 金额: $ 3万
• 依托单位: Wakayama University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2017
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2017-04-01 至 2020-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-17K01565/
• 关键词: MEMS; 微細加工; マイクロ触覚センサ; 圧電PVDF; 触覚センサ; 機能性材料; 圧電PVDF フィルム; 人工皮膚センサ; パターンエッチング; アレイセンサ; 医療応用機器; 異方性エッチング; a 触覚センサ; b 圧電樹脂フィルム; c 人工皮膚センサ; 高分解能・高感度; アレイ; 医療応用

项目成果

Anisotropic wet etching on the β-phase poly(vinylidene fluoride) film

β相聚偏二氟乙烯薄膜的各向异性湿法刻蚀

• DOI: 10.1049/mnl.2019.0304
• 发表时间: 2020
• 期刊: Micro & Nano Letters
• 影响因子: 1.3
• 作者: 平田正吾;奥住秀之;Hirofumi Miki ; Shigeki Tsuchitani ; Ryota Sugii ; Taisuke Tominaga
• 通讯作者: Hirofumi Miki ; Shigeki Tsuchitani ; Ryota Sugii ; Taisuke Tominaga

Lithographic Micropatterning on the β-PVDF Film Using Reactive Ion Etching Aim for High-Resolution Skin Sensors

使用反应离子蚀刻目标在 β-PVDF 薄膜上进行光刻微图案化，用于高分辨率皮肤传感器

• DOI: 10.1002/tee.22978
• 发表时间: 2019
• 期刊: IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering
• 影响因子: 1
• 作者: Hirofumi Miki;Ryota Sugii;Yutoku Kawabata and Shigeki Tsuchitani
• 通讯作者: Yutoku Kawabata and Shigeki Tsuchitani

PVDF Micro Machining for the High Resolution Skin-like Tactile Sensors

用于高分辨率类肤触觉传感器的 PVDF 微加工

• 发表时间: 2017
• 作者: Hirofumi Miki;R. Sugii;T. Kawabata;S. Tsuchitani
• 通讯作者: S. Tsuchitani

Etching properties of piezoelectric β-phase poly (vinylidene fluoride) film

压电β相聚偏氟乙烯薄膜的刻蚀性能

• 发表时间: 2018
• 作者: Hirofumi Miki;Ryota Sugii;Yutoku Kawabata and Shigeki Tsuchitani;幹 浩文，杉井 亮太，土谷 茂樹
• 通讯作者: 幹 浩文，杉井 亮太，土谷 茂樹

Effect of Intermitted RIE Etching on the Beta-PVDF Film Micro Patterning

间歇 RIE 蚀刻对 Beta-PVDF 薄膜微图案化的影响

• 发表时间: 2017
• 作者: Sugii Ryota;Hirofumi Miki;Shigeki Tsuchitani
• 通讯作者: Shigeki Tsuchitani