Micro fabrication technology for the new type tactile sensor having high sensitivity and high resolution as a fingertip

指尖般高灵敏度、高分辨率的新型触觉传感器微加工技术

基本信息

  • 批准号：
    17K01565
  • 负责人：
    Miki Hirofumi
  • 金额：
    $ 3万
  • 依托单位：
    Wakayama University
  • 依托单位国家：
    日本
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份：
    2017
  • 资助国家：
    日本
  • 起止时间：
    2017-04-01 至 2020-03-31
  • 项目状态：
    已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Anisotropic wet etching on the β-phase poly(vinylidene fluoride) film
β相聚偏二氟乙烯薄膜的各向异性湿法刻蚀
  • DOI：
    10.1049/mnl.2019.0304
  • 发表时间：
    2020
  • 期刊：
    Micro & Nano Letters
  • 影响因子：
    1.3
  • 作者：
    平田正吾;奥住秀之;Hirofumi Miki ; Shigeki Tsuchitani ; Ryota Sugii ; Taisuke Tominaga
  • 通讯作者：
    Hirofumi Miki ; Shigeki Tsuchitani ; Ryota Sugii ; Taisuke Tominaga
Lithographic Micropatterning on the β-PVDF Film Using Reactive Ion Etching Aim for High-Resolution Skin Sensors
使用反应离子蚀刻目标在 β-PVDF 薄膜上进行光刻微图案化，用于高分辨率皮肤传感器
PVDF Micro Machining for the High Resolution Skin-like Tactile Sensors
用于高分辨率类肤触觉传感器的 PVDF 微加工
  • DOI：
  • 发表时间：
    2017
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Hirofumi Miki;R. Sugii;T. Kawabata;S. Tsuchitani
  • 通讯作者：
    S. Tsuchitani
Effect of Intermitted RIE Etching on the Beta-PVDF Film Micro Patterning
间歇 RIE 蚀刻对 Beta-PVDF 薄膜微图案化的影响
  • DOI：
  • 发表时间：
    2017
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Sugii Ryota;Hirofumi Miki;Shigeki Tsuchitani
  • 通讯作者：
    Shigeki Tsuchitani
Etching properties of piezoelectric β-phase poly (vinylidene fluoride) film
压电β相聚偏氟乙烯薄膜的刻蚀性能
  • DOI：
  • 发表时间：
    2018
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Hirofumi Miki;Ryota Sugii;Yutoku Kawabata and Shigeki Tsuchitani;幹　浩文，杉井　亮太，土谷　茂樹
  • 通讯作者：
    幹　浩文，杉井　亮太，土谷　茂樹
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