Micro fabrication technology for the new type tactile sensor having high sensitivity and high resolution as a fingertip
Micro fabrication technology for the new type tactile sensor having high sensitivity and high resolution as a fingertip
指尖般高灵敏度、高分辨率的新型触觉传感器微加工技术
批准号：
17K01565
负责人：
Miki Hirofumi
金额：
$3.0万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2017
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2017-04-01 至 2020-03-31
中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
期刊论文(0)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
登录
查看更多内容
Anisotropic wet etching on the β-phase poly(vinylidene fluoride) film
β相聚偏二氟乙烯薄膜的各向异性湿法刻蚀
β相聚偏二氟乙烯薄膜的各向异性湿法刻蚀
DOI：
10.1049/mnl.2019.0304
发表时间：
2020
期刊：
Micro & Nano Letters
影响因子：
1.3
作者：
[平田正吾, 奥住秀之, Hirofumi Miki ; Shigeki Tsuchitani ; Ryota Sugii ; Taisuke Tominaga]
通讯作者：
Hirofumi Miki ; Shigeki Tsuchitani ; Ryota Sugii ; Taisuke Tominaga
Lithographic Micropatterning on the β-PVDF Film Using Reactive Ion Etching Aim for High-Resolution Skin Sensors
使用反应离子蚀刻目标在 β-PVDF 薄膜上进行光刻微图案化，用于高分辨率皮肤传感器
使用反应离子蚀刻目标在 β-PVDF 薄膜上进行光刻微图案化，用于高分辨率皮肤传感器
DOI：
10.1002/tee.22978
发表时间：
2019
期刊：
IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering
影响因子：
1
作者：
[Hirofumi Miki, Ryota Sugii, Yutoku Kawabata and Shigeki Tsuchitani]
通讯作者：
Yutoku Kawabata and Shigeki Tsuchitani
PVDF Micro Machining for the High Resolution Skin-like Tactile Sensors
用于高分辨率类肤触觉传感器的 PVDF 微加工
用于高分辨率类肤触觉传感器的 PVDF 微加工
DOI：
--
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Hirofumi Miki, R. Sugii, T. Kawabata, S. Tsuchitani]
通讯作者：
S. Tsuchitani
DOI：
--
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Hirofumi Miki, Ryota Sugii, Yutoku Kawabata and Shigeki Tsuchitani, 幹 浩文，杉井 亮太，土谷 茂樹]
通讯作者：
幹 浩文，杉井 亮太，土谷 茂樹
Effect of Intermitted RIE Etching on the Beta-PVDF Film Micro Patterning
间歇 RIE 蚀刻对 Beta-PVDF 薄膜微图案化的影响
间歇 RIE 蚀刻对 Beta-PVDF 薄膜微图案化的影响
DOI：
--
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Sugii Ryota, Hirofumi Miki, Shigeki Tsuchitani]
通讯作者：
Shigeki Tsuchitani
海外基金