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Development of thin-film based PiezoMEMS haptic devices

Development of thin-film based PiezoMEMS haptic devices
开发基于薄膜的 PiezoMEMS 触觉设备
批准号：
17K06269
负责人：
Kanda Kensuke
金额：
$3.0万
依托单位：
University of Hyogo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2017
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2017-04-01 至 2020-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-17K06269/
关键词：
MEMS圧電薄膜触覚アクチュエータIoTMEMS・マイクロマシン触覚ディスプレイハプティックスインターフェース触覚デバイスPZTフレキシブルマイクロ・ナノシステムマイクロマシン

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DOI： --
发表时间： 2019
期刊：
影响因子： --
作者： [T. Aiba, S. Hirai, K. Kanda, T. Fujita, and K. Maenaka, 髙原光將，ハズワニ B. M. ナシル，神田健介，藤田孝之，前中一介, 饗庭岳，平井翔太，神田健介，藤田孝之，前中一介]
通讯作者： 饗庭岳，平井翔太，神田健介，藤田孝之，前中一介
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发表时间： 2019
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作者： [T. Aiba, S. Hirai, K. Kanda, T. Fujita, and K. Maenaka, 髙原光將，ハズワニ B. M. ナシル，神田健介，藤田孝之，前中一介]
通讯作者： 髙原光將，ハズワニ B. M. ナシル，神田健介，藤田孝之，前中一介
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DOI： --
发表时间： 2019
期刊：
影响因子： --
作者： [T. Aiba, S. Hirai, K. Kanda, T. Fujita, and K. Maenaka, 髙原光將，ハズワニ B. M. ナシル，神田健介，藤田孝之，前中一介, 饗庭岳，平井翔太，神田健介，藤田孝之，前中一介, 平井翔太，神田健介，藤田孝之，前中一介]
通讯作者： 平井翔太，神田健介，藤田孝之，前中一介
共 26 条
    Multilayer deposition of PZT thin films and application to MEMS devices
    • 批准号：
      26420204
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.24万
    • 财政年份：
      2014
    • 负责人：
      Kanda Kensuke
    • 依托单位：
      University of Hyogo
    海外基金