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Multilayer deposition of PZT thin films and application to MEMS devices

Multilayer deposition of PZT thin films and application to MEMS devices
PZT薄膜的多层沉积及其在MEMS器件中的应用
批准号：
26420204
负责人：
Kanda Kensuke
金额：
$3.24万
依托单位：
University of Hyogo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2014
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2014-04-01 至 2017-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-26420204/
关键词：
MEMS圧電薄膜多層成膜マイクロ・ナノシステムマイクロマシンアクチュエータセンサ多層積層チタン酸ジルコン酸鉛薄膜

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通讯作者： K. Maenaka
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通讯作者： 佐野良，井上純一，神田健介，藤田孝之，前中一介
共 10 条
    Development of thin-film based PiezoMEMS haptic devices
    • 批准号：
      17K06269
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.0万
    • 财政年份：
      2017
    • 负责人：
      Kanda Kensuke
    • 依托单位：
      University of Hyogo
    海外基金