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Development and application of high density nitrogen radical source using helical plasma with long magnetic connection length
长磁连接长度螺旋等离子体高密度氮自由基源的研制与应用
基本信息
- 批准号：17K18768
- 负责人：
- 金额：$ 4.08万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
- 财政年份：2017
- 资助国家：日本
- 起止时间：2017-06-30 至 2019-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
High density and low temperature nitrogen plasmas for nitrogen atom source
氮原子源用高密度低温氮等离子体
- DOI：
- 发表时间：2019
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：N.Ohno;K.Asaoka;S.Kajita;H.Tanaka;Y.Hayashi
- 通讯作者：Y.Hayashi
トーラス型プラズマ装置を用いた窒素原子ラジカル源の開発
利用环形等离子体装置开发氮原子自由基源
- DOI：
- 发表时间：2018
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：N.Ohno;K.Asaoka;S.Kajita;H.Tanaka;Y.Hayashi;浅岡晃次，大野哲靖，林祐貴，梶田信，田中宏彦
- 通讯作者：浅岡晃次，大野哲靖，林祐貴，梶田信，田中宏彦
Generation of Spiral Shape Nitrogen Recombining Plasma for Atomic Nitrogen Source
原子氮源螺旋形氮复合等离子体的产生
- DOI：10.1585/pfr.14.3401069
- 发表时间：2019
- 期刊：
- 影响因子：0.8
- 作者：Koji ASAOKA;Noriyasu OHNO;Yuki HAYASHI;Shin KAJITA and Hirohiko TANAKA
- 通讯作者：Shin KAJITA and Hirohiko TANAKA
K.Asaoka, N.Ohno, Y.Hayashi, S.Kajita, H.Tanaka
K.Asaoka、N.Ohno、Y.Hayashi、S.Kajita、H.Tanaka
- DOI：
- 发表时间：2018
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：N.Ohno;K.Asaoka;S.Kajita;H.Tanaka;Y.Hayashi;Generation of spiral shape nitrogen recombining plasma for nitrogen atom source Koji
- 通讯作者：Generation of spiral shape nitrogen recombining plasma for nitrogen atom source Koji
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Takeshita Tatsuya
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