二硫化モリブデンを用いた超高感度ピエゾ抵抗型のカンチレバーバイオセンサの開発
二硫化モリブデンを用いた超高感度ピエゾ抵抗型のカンチレバーバイオセンサの開発
二硫化钼超灵敏压阻悬臂生物传感器的研制
批准号：
18J12689
负责人：
朱 敏杰
金额：
$0.96万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
2018
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2018-04-25 至 2020-03-31
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英文摘要
本年度は昨年度に成長した優れた電特性を持つバナジウム(V)ドープした二硫化モリブデン(MoS2)薄膜を用いて、高感度なピエゾ抵抗型の圧力センサを開発している。圧力センサの製作プロセスを確立した。まず、シリコンの上に窒化物を感圧膜として化学気相成長(CVD)により成膜した。MoS2薄膜はCVD法に成膜し、微細加工でピエゾ抵抗素子を作成した。リフトオフで金属膜を成膜してから、反応性イオンエッチングにより、シリコンをエッチングした。世界初のVドープしたMoS2薄膜を用いた圧力センサを製作した。VドープしたMoS2薄膜の電気特性をさらに知るために、VドープしたMoS2薄膜に基づく、トランジスタの製作プロセスを確立した。Vのドーピング量により、各種のトランジスタを実際に制作した。
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会议论文
Piezoresistive strain sensor based on monolayer molybdenum disulfide continuous film deposited by chemical vapor deposition
基于化学气相沉积单层二硫化钼连续薄膜的压阻应变传感器
基于化学气相沉积单层二硫化钼连续薄膜的压阻应变传感器
DOI：
10.1088/1361-6439/ab0726
发表时间：
2019
期刊：
Journal of Micromechanics and Microengineering
影响因子：
2.3
作者：
[Zhu Minjie, Sakamoto Kei, Li Jinhua, Inomata Naoki, Toda Masaya, Ono Takahito]
通讯作者：
Ono Takahito
DOI：
10.7567/1882-0786/aaf5c4
发表时间：
2019-01
期刊：
Applied Physics Express
影响因子：
2.3
作者：
[Minjie Zhu;Jinhua Li;N. Inomata;M. Toda;T. Ono]
通讯作者：
Minjie Zhu;Jinhua Li;N. Inomata;M. Toda;T. Ono
High Gauge Factor Strain Sensors Based on Vanadium Doped Molybdenum Disulfide 2D Films
基于掺钒二硫化钼二维薄膜的高应变传感器
基于掺钒二硫化钼二维薄膜的高应变传感器
DOI：
--
发表时间：
2019
期刊：
Proceedings of 2019 IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
影响因子：
--
作者：
[Zhu Minjie, Inomata Naoki, Toda Masaya, Ono Takahito]
通讯作者：
Ono Takahito
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