Wachstum einkristalliner Diamantschichten: Untersuchungen zu Art, Entstehung, Manipulation und Minimierung struktureller + chemischer Defekte

2 . die bei der microwellenplasma - unterst<s:1> ztzten chemischen gas phasenscheidung von einkstallinen Diamantschichten auftreten。在中央，stebieline是defkte和Versetzungen bzw。与此同时，我也在努力提高我的化学能力。Ziel ist die Aufklärung von Struktur and Entstehung sowie die Untersuchung von Möglichkeiten zu deren gezielter Manipulation and Vermeidung, um so möglichst defkt - free Kristalle abzuscheiden。Neben der homelaxaxic auf of schichhtsystem - Diamant/Iridium/YSZ/Silizium präpariert [j]。Die Idee ist dabei, Die Konzepte, Die beim homoepitaktischen Wachstum entwickelt werden, Die bebem heteroepitaktische Wachstum großflächiger Diamantschichten, Die bebem aktuell aufder Basis von 10 cm Si-Scheiben untersucht werden, zu bertragen。[1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [3]

Untersuchungsobjekt des geplanten Forschungsvorhaben sind die strukturellen und chemischen Defekte, die bei der Mikrowellenplasma-unterstützten chemischen Gasphasenabscheidung von einkristallinen Diamantschichten auftreten. Im Zentrum stehen dabei lineare Defekte wie Versetzungen bzw. die wichtigsten chemischen Verunreinigungen wie Bor und Stickstoff. Ziel ist die Aufklärung von Struktur und Entstehung sowie die Untersuchung von Möglichkeiten zu deren gezielter Manipulation und Vermeidung, um so möglichst Defekt-freie Kristalle abzuscheiden. Neben der Homoepitaxie auf Einkristallen aus der Hochdruck-Hochtemperatur-Synthese sollen Heteroepitaxieschichten auf der Basis des Schichtsystems Diamant/Iridium/YSZ/Silizium präpariert werden. Die Idee ist dabei, die Konzepte, die beim homoepitaktischen Wachstum entwickelt werden, auf das heteroepitaktische Wachstum großflächiger Diamantschichten, wie sie aktuell auf der Basis von 10 cm Si-Scheiben untersucht werden, zu übertragen. Die im Rahmen des Projekts hergestellten Proben sollen darüber hinaus an verschiedene Arbeitsgruppen zur Realisierung von Bauelementen weitergegeben werden.