Heteroepitaxy of diamond for the realization of single chrystal diamond films by iridium buffer layers

金刚石异质外延通过铱缓冲层实现单晶金刚石薄膜

• 批准号: 5212456
• 负责人: Professor Dr. Bernd Stritzker
• 金额: --
• 依托单位: Laboratoire de Métallurgie Physique
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 1999
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1998-12-31 至 2002-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5212456?language=en
• 关键词: Heteroepitaxy; diamond; realization; single; chrystal

Die Arbeiten des geplanten Forschungsvorhabens zielen auf die Realisierung großflächiger, einkristalliner Diamantschichten. Zum Erreichen dieses Zieles soll die heteroepitaktische Abscheidung von Diamant im Mikrowellenplasma auf Einkristallen bzw. einkristallinen Schichten untersucht werden. Die vor kurzem erzielten Erfolge mit Iridium als Zwischenschicht auf SrTiO3-Einkristallen dienen dabei als Grundlage. In einem ersten Schritt soll das Wachstum der Iridiumschichten auf SrTiO3 und die nachfolgende Deposition der Diamantschichten studiert sowie die Qualität dieser Schichten optimiert werden. In einem zweiten Schritt soll das Problem der extremen Eigenspannungen aufgrund der Fehlpassung der thermischen Ausdehnungskoeffizienten durch Wahl geeigneter anderer Einkristalle, auf denen die Ir-Schichten aufgebracht werden, gelöst bzw. minimiert werden. Die Arbeiten umfassen neben Untersuchungen zum Wachstum der Ir-Schichten auf den verschiedenen Einkristallsubstraten sowie zur Keimbildung von Diamant auf Ir auch eine umfassende Charakterisierung der erhaltenen Diamantschichten mittels Röntgenbeugung, Ionenchanneling, Rasterkraftmikroskopie, Transmissionselektronenmikroskopie und Ramanspektroskopie.

Die Arbeiten des geplanten Forschungsvorhabenszielen auf die Realisierung großflächiger, einkristalliner Diamantsschichten。 Zum Erreichen dieses Zieles soll die hetero epitaktische Abscheidung von Diamant im Mikrowellenplasma auf Einkristallen bzw. einkristallinen Schichten untersucht werden。 Die vor kurzem erzielten Erfolge mit Iridium als Zwischenschicht auf SrTiO3-Einkristallen dienen dabei als Grundlage。在所有这些中，Schritt 都致力于对 SrTiO3 进行铱合金沉积，并在钻石研究中进行沉积沉积，从而获得最佳的质量。在这两个问题中，Schritt 解决了极端特征问题和热力传递过程中的热力传递问题，并解决了问题。迷你韦尔登Die Arbeiten umfassen neben Untersuchungen zum Wachstum der Ir-Schichten auf den verschiedenen Einkristallsubstraten sowie zur Keimbildung von Diamant auf Ir auch eine umfassende Charakterisierung der erhaltenen Diamantsschichten mittels Röntgenbeugung, Ionenchanneling, 光栅微镜、传输电子微镜和拉曼光谱仪。