n-Dotierung von Diamant durch Einbau von Schwefel

Ziel des geplanten Forschungsvorhabens is es，durch Einbau von Schwefel während der chemischen Gasphasenabscheidung im Mikrowellenplasma mittels einer vorhandenen borfreien Anlage eine-Leitung von Diamant zuerzielen.由于H2S在土壤中的作用，土壤中H2S的含量增加，因此土壤中H2S的含量增加，土壤中H2S的含量增加。Besonderes Augenmerk gilt der elektrischen Aktivität des Schwefels im Diamantgitter sowie ihrer gezielten Beeinflussung durch geignete Prozeßführung während und nach der Schichtherstellung. Für die elektrische Charakterisierung wird eine Technologie zur Herstellung ohmscher Kontakte entwickelt.通过对Halleffekts的测量，Kathodolumineszenz的Photoleitfähigkeit sowie soll grundsätzlich geklärt韦尔登，ob Schwefel als Donator eingebaut韦尔登kann und welche Bedingungen hierfür notwendig bzw. begünstigend sind.

Ziel des geplanten Forschungsvorhabens ist es, durch Einbau von Schwefel während der chemischen Gasphasenabscheidung im Mikrowellenplasma mittels einer vorhandenen borfreien Anlage eine n-Leitung von Diamant zu erzielen. Ausgehend von eigenen Vorarbeiten, bei denen bereits gezeigt wurde, daß Schwefel durch Zugabe von H2S erfolgreich in die Schichten eingebaut werden kann, soll nun dieser Prozeß systematisch untersucht und optimiert werden. Besonderes Augenmerk gilt der elektrischen Aktivität des Schwefels im Diamantgitter sowie ihrer gezielten Beeinflussung durch geeignete Prozeßführung während und nach der Schichtherstellung. Für die elektrische Charakterisierung wird eine Technologie zur Herstellung ohmscher Kontakte entwickelt. Über Messungen des Halleffekts, der Photoleitfähigkeit sowie der Kathodolumineszenz soll grundsätzlich geklärt werden, ob Schwefel als Donator eingebaut werden kann und welche Bedingungen hierfür notwendig bzw. begünstigend sind.