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グリーンプラズマエッチングに向けた高アスペクト比孔内の活性種輸送特性の実験的解明
绿色等离子体蚀刻高纵横比孔中活性物质传输特性的实验阐明
基本信息
- 批准号：23K03367
- 负责人：
- 金额：$ 2.91万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份：2023
- 资助国家：日本
- 起止时间：2023-04-01 至 2026-03-31
- 项目状态：未结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
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堤 隆嘉其他文献
CTA prospects for new physics at the galactic center.
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- DOI：
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Oscar Macias
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- DOI：
- 发表时间：
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- 影响因子：0
- 作者：
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大学生网络攻击与心理适应不良的关系探讨2：主动/反应攻击与心理应激反应的关系
- DOI：
- 发表时间：
2019 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
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- DOI：
- 发表时间：
2017 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
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堀 勝
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- DOI：
- 发表时间：
2017 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
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堀 勝
堤 隆嘉的其他文献
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相似海外基金
液滴を用いたウエットプロセスによる電子デバイス材料の加工研究
利用液滴湿法加工电子器件材料的研究
- 批准号：
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- 资助金额：
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Synthesis of new aeschynite-type complex oxides consisting of titanate and niobate with optical functional properties using green processing
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Development of next generation mist CVD enabling atomic level control & development of oxide quantum devices
开发下一代雾气 CVD 实现原子级控制
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硅各向异性湿法刻蚀绿色工艺研究
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基于水溶液和复杂化学的光陶瓷合成：其性能的改进和新型光陶瓷的探索
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環境調和型両親媒性物質のグリーンプロセスによる合成と物性評価
绿色工艺环保两亲性物质的合成及物性评价
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ヒドロキシメチルフルフラール生産のためのバイオマス糖グリーン変換プロセスの開発
生物质糖绿色转化羟甲基糠醛生产工艺开发
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08F08406 - 财政年份：2008
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