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Study on green process for Si anisotropic wet etching
硅各向异性湿法刻蚀绿色工艺研究
基本信息
- 批准号：26390042
- 负责人：
- 金额：$ 3.24万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份：2014
- 资助国家：日本
- 起止时间：2014-04-01 至 2017-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（8）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
低濃度アルカリ水溶液によるシリコン異方性ウエット エッチング加工特性
使用低浓度碱性水溶液的硅各向异性湿法蚀刻加工特性
- DOI：
- 发表时间：2015
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Yuhei Motoki;Ryo Inoue;Hiroshi Tanigawa;Tomoki Nishino;Takashi Furutsuka;and Kenichiro Suzuki;田中 浩，齋藤祐樹，佐藤一雄
- 通讯作者：田中 浩，齋藤祐樹，佐藤一雄
Si (100) and (110) etching properties in 5, 15, 30 and 48 wt% KOH aqueous solution containing Triton-X-100
Si%20(100)%20和%20(110)%20蚀刻%20性能%20in%205、%2015、%2030%20和%2048%20wt%%20KOH%20水%20溶液%20含%20Triton-X-100
- DOI：10.1007/s00542-017-3368-y
- 发表时间：2017
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：H. Tanaka;M. Takeda and K. Sato
- 通讯作者：M. Takeda and K. Sato
Development of high speed and precise Si anisotropic wet etching technology in mass production for automotive sensor
汽车传感器高速精密硅各向异性湿法刻蚀技术量产开发
- DOI：
- 发表时间：2015
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Y. Asahi;H. Tanigawa;T. Nishino;T. Furutsuka;and K. Suzuki;Hiroshi TANAKA
- 通讯作者：Hiroshi TANAKA
ＫＯＨ水溶液に微量界面活性剤を添加した場合の シリコン異方性エッチング加工特性
KOH水溶液中添加少量表面活性剂时的硅各向异性蚀刻特性
- DOI：
- 发表时间：2014
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：K. Tsujishita;H. Tanigawa;and K. Suzuki;武田将人，田中 浩，佐藤一雄
- 通讯作者：武田将人，田中 浩，佐藤一雄
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Hiroshi Tanaka其他文献
Tilted wick solar still with external flat plate reflector: Optimum inclination of still and reflector
- DOI：
10.1016/j.desal.2009.06.048 - 发表时间：
2009-11 - 期刊：
- 影响因子：9.9
- 作者：
Hiroshi Tanaka - 通讯作者：
Hiroshi Tanaka
Clinical outcome of emergency surgery for complicated acute type B aortic dissection.
复杂急性B型主动脉夹层急诊手术的临床结果
- DOI：
- 发表时间：
2012 - 期刊：
- 影响因子：3.3
- 作者：
T. Murashita;H. Ogino;H. Matsuda;H. Sasaki;Hiroshi Tanaka;Y. Iba;Keitaro Domae;Tatsuki Fujiwara - 通讯作者：
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Unique properties of polyvalent disialic acid-linked dextran toward the sialic acid-binding lectin siglec-7.
多价二唾液酸连接的葡聚糖对唾液酸结合凝集素 siglec-7 的独特特性。
- DOI：
- 发表时间：
2017 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
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Chihiro Sato
Reciprocal CD4+T-CeII Balance of Effector CD62LIOW CD4+and CD62LhighCD25+CD4+Regulatory T Cells in Small Cell Lung Cancer Reflects Disease stage
小细胞肺癌中效应器 CD62LIOW CD4 和 CD62LhighCD25 CD4 调节性 T 细胞的相互 CD4 T-CeII 平衡反映疾病阶段
- DOI：
- 发表时间：
2008 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Kenichi Koyama;Hiroshi Kagamu;Satoru Miura;ToruHiura;Takahiro Miyabayashi;Ryo Itoh;Hideyuki Kuriyama;Hiroshi Tanaka;Junta Tanaka;Hirohisa Yoshizawa;Koh Nakata;Fumitake Gejyo. - 通讯作者：
Fumitake Gejyo.
Changes in forest resource utilization and forest landscapes in the southern Abukuma Mountains, Japan during the twentieth century
20世纪日本阿武隈山脉南部森林资源利用与森林景观的变化
- DOI：
10.1007/s10310-010-0213-x - 发表时间：
2011 - 期刊：
- 影响因子：1.5
- 作者：
A. Miyamoto;M. Sano;Hiroshi Tanaka;K. Niiyama - 通讯作者：
K. Niiyama
Hiroshi Tanaka的其他文献
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{{ truncateString('Hiroshi Tanaka', 18)}}的其他基金
Observational Analysis and Numerical Experiments on Energy Transformations in the Vertical Spectral Domain
垂直谱域能量变换的观测分析和数值实验
- 批准号：
8923064 - 财政年份：1990
- 资助金额：
$ 3.24万 - 项目类别：
Continuing Grant
相似海外基金
液滴を用いたウエットプロセスによる電子デバイス材料の加工研究
利用液滴湿法加工电子器件材料的研究
- 批准号：
22K04225 - 财政年份：2022
- 资助金额：
$ 3.24万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
酸化ガリウムの表面および界面処理技術の研究
氧化镓表面及界面处理技术研究
- 批准号：
22K04047 - 财政年份：2022
- 资助金额：
$ 3.24万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Construction of VGS chemistry using surface structures of organic monolayers as template
使用有机单层表面结构作为模板构建 VGS 化学
- 批准号：
15K05469 - 财政年份：2015
- 资助金额：
$ 3.24万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Development of the high efficiency high precision wet processing method required for the SiC power device fabrication
开发SiC功率器件制造所需的高效高精度湿法加工方法
- 批准号：
23686027 - 财政年份：2011
- 资助金额：
$ 3.24万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
中性子集光用高精度光学素子の作製とその応用
高精度中子聚焦光学元件的制备及其应用
- 批准号：
10J00687 - 财政年份：2010
- 资助金额：
$ 3.24万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
Characterization for the atomic structures and electric structures on the GaN substrates during device fabrication process
器件制造过程中 GaN 衬底上原子结构和电结构的表征
- 批准号：
22656038 - 财政年份：2010
- 资助金额：
$ 3.24万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
Development of high efficient semiconductor microtube-lasers containing micro-ring resonators
含微环谐振器的高效半导体微管激光器的研制
- 批准号：
21560047 - 财政年份：2009
- 资助金额：
$ 3.24万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Development of High?precision and High-ef icient Finishing Process of Over Meter Size Photomask Substrate for LCD
米级以上LCD光罩基板高精度、高效率精加工工艺开发
- 批准号：
18206017 - 财政年份：2006
- 资助金额：
$ 3.24万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
異方性ウエットエッチングを用いた溝型ゲートMOSトランジスタの作製
各向异性湿法刻蚀沟槽栅MOS晶体管的制作
- 批准号：
14750266 - 财政年份：2002
- 资助金额：
$ 3.24万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
メッキ法による微細機械加工の研究
电镀法微细加工的研究
- 批准号：
05855044 - 财政年份：1993
- 资助金额：
$ 3.24万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)