液滴を用いたウエットプロセスによる電子デバイス材料の加工研究

利用液滴湿法加工电子器件材料的研究

• 批准号: 22K04225
• 负责人: 田中 浩
• 金额: $ 2.16万
• 依托单位: Aichi Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2022
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2022-04-01 至 2025-03-31
• 项目状态: 未结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22K04225/
• 关键词: 液滴; ウエットエッチング; グリーンプロセス; マイクロピラミッド; 次世代デバイス

本年度は低濃度ＫＯＨ液滴を加熱した時のエッチング特性解明に取り組んだ．液滴量と液滴入熱量の関係，液滴量とエッチング加工部温度の関係，およびエッチング加工部温度とエッチング速度の関係を詳細に把握した．例えば，５wt%KOH水溶液の液適量が３５μL/min の場合，液滴温度が７０℃以上の試料で平滑なエッチング面を得られることがわかった．液滴量を４５μL/minと増加させるとどの温度においてもマイクロピラミッドが発生し，荒れたエッチング面となってしまうことがわかった．通常５wt%KOH水溶液に浸漬した場合では，どの温度においてもマイクロピラミッドが発生してしまうが，今回の方法により低濃度ＫＯＨ液を使用しても，マイクロピラミッドが発生しない平滑加工領域があることを示すことができた．また，加熱した微量液滴のアルカリ水溶液濃度を測定するために，液滴の屈折率を測定する方法に着目した．液滴の屈折率とKOH水溶液濃度の相関が高く，本測定が有効であることを示すと共に，例えば平滑なエッチング面が得られた液滴量３５μL/min，液滴温度７８.５℃の条件では、KOH水溶液濃度が38wt%と高濃度になっていることを検証することができた．しかしながら，液滴量に対する液滴のＫＯＨ水溶液濃度の関係を求めたところ，２５～５０μL/minの間で急激な濃度変化が生じていることも明らかとなり，液滴量の微量制御と液滴局所加熱量を精密にコントロールする必要があることも把握した．

This year, when KOH droplets of low concentration are heated, the characteristics of KOH droplets are analyzed. The relationship between the amount of liquid drops and the amount of liquid drops, the relationship between the amount of liquid drops and the temperature of the processing part, and the relationship between the temperature of the processing part and the speed of the processing part are carefully grasped. For example, 5wt% KOH aqueous solution of the appropriate amount of 35μL/min, the drop temperature of more than 70℃ sample smooth surface can be obtained. Dropping volume: 45μL/min Increase in temperature: 10 ° C-10 ° C-10 ° C Usually, when immersed in 5wt% KOH aqueous solution, the temperature is changed, and the KOH solution with low concentration is used. The method for determining the refractive index of a droplet is described. There is a high correlation between the refractive index of droplets and the concentration of KOH aqueous solution. For example, the smooth surface of the droplet is obtained. The droplet volume is 35μL/min, and the droplet temperature is 78.5℃. The concentration of KOH aqueous solution is 38 wt %. The relationship between the droplet volume and the concentration of KOH aqueous solution is calculated. The concentration of KOH aqueous solution is changed from 25 μL/min to 50μL/min.