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電子パッケージ薄膜配線のエレクトロマイグレーション強度評価パラメータの特定と応用

电子封装薄膜布线电迁移强度评价参数的辨识及应用

基本信息

批准号：
08750095
负责人：
笹川和彦
金额：
$ 0.64万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1996
资助国家：
日本
起止时间：
1996 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究は,電子パッケージ内金属薄膜配線のエレクトロマイグレーション損傷に対する普遍的評価法を確立すること,ならびにその応用を図ることを目的とするものである。以下の項目の研究を実施した。1.エレクトロマイグレーション強度評価パラメータの定式化エレクトロマイグレーションの発現理論式および角部における電流・温度の解析解を用い,さらに原子論に基づいたエネルギ的考察を加えてエレクトロマイグレーション強度評価パラメータの定式化を行った。2.エレクトロマイグレーション加速通電試験による実験的検証エレクトロマイグレーション加速試験を行い,項目1.で定式化された強度評価パラメータと実際の現象との関連を捉えることにより,本評価パラメータの有効性を検証した。本評価パラメータには,入力データとして電流密度,電流密度の勾配,温度,温度勾配が含まれる。研究代表者らは,薄膜配線の角部において電流密度ならびに温度勾配が特異性を示すこと,およびその大きさの表示を既に明らかにしている。そこで,角部におけるこれら特異性の大きさを配線形状などにより種々変化させた場合の,本評価パラメータと角部におけるボイド形成の様子を比較したところ,定性的によい相関が得られた。3.数値シミュレーションによる検証項目2.の実験検証を踏まえ,エレクトロマイグレーション損傷の数値シミュレーションにより,より詳細な本評価パラメータの有効性の検証を行った。実験においては角部における温度と温度勾配特異性の大きさを独立に制御することが困難である。そこで数値シミュレーションにより実験結果の補間を行い,これらの問題を解決した。4.本評価法の応用現在,項目3.までの結果を踏まえ,本評価法の定量的な有効性の検証を精力的に行っている。また,配線角部のみならず配線全体に適用可能な本評価法の拡張について検討を行っている。

In this study, a general evaluation method for the damage of electronic thin film alignment was established. The following research projects were carried out. 1. The analytical solution of the current and temperature in the corner of the atom theory is used to investigate the basic structure of the atom theory, and the evaluation of the intensity of the atom theory is carried out. 2. The test results of the test results show that the test results of the test results are accurate. This evaluation is based on current density, current density, temperature and temperature. The study representative pointed out that the current density and temperature of the corners of the thin film alignment are specific, and the expression of the large diameter of the thin film alignment is clear. In this paper, we evaluate the relationship between the angle and the shape of the line, and the relationship between the angle and the shape of the line. 3. 2. The actual test results show that: 1. The actual test results show that: 2. The actual test results show that: 3. The actual test results show that: 4. It is difficult to control the temperature and specificity of the corner. The number of problems in the process of solving the problem is reduced. 4. Application of this evaluation method. Item 3. Results of this evaluation method. Quantitative and effective evaluation of this evaluation method. This evaluation method may be applied to the entire wiring system at the corners of the wiring system.