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Theoretical Design of Slurry for Chemical Mechanical Polishing by Computational Simulation

化学机械抛光浆料的计算模拟理论设计

基本信息

批准号：
26820029
负责人：
Nobuki Ozawa
金额：
$ 2.25万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2014
资助国家：
日本
起止时间：
2014-04-01 至 2017-03-31
项目状态：
已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（0）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

分子動力学法による使用済みガラス研磨用セリア砥粒の再生シミュレーション

分子动力学法模拟玻璃抛光用过的二氧化铈磨粒的再生

DOI：
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
0
作者：
尾澤伸樹;周康;河口健太郎;樋口祐次;久保百司
通讯作者：
久保百司

First-principles Calculations of High Efficiency Abrasive Grain for GaN Chemical Mechanical Polishing

GaN化学机械抛光高效磨粒的第一性原理计算

DOI：
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
0
作者：
Wenting Gu;Ryosuke Nishikubo;and Akinori Saeki;Takuya Igarashi
通讯作者：
Takuya Igarashi

計算科学手法を用いた GaN CMP における砥粒-基板間の化学反応機構の検討

使用计算科学方法研究 GaN CMP 中磨粒与衬底之间的化学反应机理

DOI：
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
0
作者：
Aritra Sarkar;A. Nagesha;P. Parameswaran;R. Sandhya;K. Laha and M. Okazaki;Tomokazu Iyoda;五十嵐拓
通讯作者：
五十嵐拓

量子分子動力学シミュレーションによる単結晶ダイヤモンド基板研磨プロセスの検討

利用量子分子动力学模拟研究单晶金刚石基片抛光过程

DOI：
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
0
作者：
河口健太郎;樋口祐次;尾澤伸樹;久保百司
通讯作者：
久保百司

Atomic-Scale Removal Mechanisms during Chemical Mechanical Polishing of Gallium Nitride Assisted by OH Radicals: Computational Chemistry Approach

OH自由基辅助氮化镓化学机械抛光过程中的原子尺度去除机制：计算化学方法

DOI：
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
0
作者：
Kentaro Kawaguchi;Yuji Higuchi;Nobuki Ozawa;and Momoji Kubo
通讯作者：
and Momoji Kubo

DOI：
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作者：
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Nobuki Ozawa其他文献

Theoretical Study on Tribo-chemical Reaction of Diamond-like Carbon under Water Lubrication

水润滑下类金刚石碳摩擦化学反应的理论研究

DOI：
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
0
作者：
Shandan Bai;Yasunori Niiyama;Yoshihiko Kobayashi;Yuji Higuchi;Nobuki Ozawa;Koshi Adachi;Shigeyuki Mori;Kazue Kurihara;Momoji Kubo
通讯作者：
Momoji Kubo

フラーレンを内包した超分子包接体の開発と光線力学療法への応用

富勒烯超分子包合物的研制及其在光动力治疗中的应用

DOI：
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
0
作者：
Kenichi Kato;Hidetaka Kasai;Akihiro Hori;Masaki Takata;Susumu Kitagawa;Hiroshi Tanaka;Akira kobayashi;Nobuki Ozawa;Momoji Kubo;Hidekazu Arikawa;Tatsuya Takeguchi;Masaaki Sadakiyo;Miho Yamauchi;山村正樹・齊藤剛・鍋島達弥
通讯作者：
山村正樹・齊藤剛・鍋島達弥

A study of incident hydrogen atom behaviors into the Pd(111) surface via quantum methods

通过量子方法研究 Pd(111) 表面的入射氢原子行为

DOI：
发表时间：
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期刊：
影响因子：
0
作者：
Nobuki Ozawa;Hiroshi Nakanishi;Hideaki Kasai
通讯作者：
Hideaki Kasai

Computational Study on Mechanism of Structure Change from Diamond to Graphene by Si Doping

Si掺杂从金刚石到石墨烯结构变化机理的计算研究

DOI：
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
0
作者：
Shandan Bai;Yoshihiko Kobayashi;Yuji Higuchi;Nobuki Ozawa;Koshi Adachi;Jean Michel Martin;and Momoji Kubo
通讯作者：
and Momoji Kubo

風力発電事業の事業段階における紛争解決要因の実証分析

风电项目运营阶段冲突解决因素实证分析

DOI：
发表时间：
2014
期刊：
計画行政
影响因子：
0
作者：
Shandan Bai;Yoshihiko Kobayashi;Seiichiro Sato;Yuji Higuchi;Nobuki Ozawa;Koshi Adachi;Jean Michel Martin;and Momoji Kubo;畦地啓太;畦地啓太;畦地啓太，堀周太郎，錦澤滋雄，村山武彦;畦地啓太，錦澤滋雄，原科幸彦
通讯作者：
畦地啓太，錦澤滋雄，原科幸彦