权益分类	功能权益	普通用户	{{item.name}}会员
{{category.name}}	{{benefitItem.name}}

電子ビームによるサブミクロン局在光可視化技術の開発研究

利用电子束的亚微米局部光可视化技术的研究与开发

基本信息

批准号：
22K18974
负责人：
山崎順
金额：
$ 4.08万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
财政年份：
2022
资助国家：
日本
起止时间：
2022-06-30 至 2024-03-31
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22K18974/
关键词：
電子顕微鏡局在光パルス電子ビーム小角散乱

项目摘要

本課題における実験は代表者所属部局に設置されているパルス電子顕微鏡を用いる必要があり、加えてフェムト秒レーザーによるポンプ光を電顕内試料位置で１μm程度まで集光する必要がある。このための特殊試料ホルダーの設計を行い、部材の購入と業者による加工作業の発注を行ったが、コロナ禍などの要因に伴う世界的な物流停滞の影響を受けて年度内には完成しなかった。実験に必要なハードウェア的環境が整うまでの間、１）局在光の分布を電子線プローブで自動計測するためのプログラム開発、２）計測対象となるフォトニック結晶の作製と電子顕微鏡試料ホルダーへの設置技術の開発、３）パルス電子線照射の調整作業と動作検証、などを並行して進めた。１）に関しては、局在光分布を電子プローブでスキャンするように電子顕微鏡の電磁石レンズを制御し、その動きと同期して電子回折図形を撮影するようにカメラも制御するためのスクリプトを開発した。２）に関しては、分担者（近藤）の研究室で確立されている技術を用いて、計測に用いる厚さ約300nmのスラブ状のフォトニック結晶を作製した。このスラブ領域を集束イオンビーム研磨装置（FIB）で切り落として金属ニードルでピックアップし、電子顕微鏡観察用の銅グリッドメッシュに固定することに成功した。３）に関しては、パルス電子線制御の検証も兼ねた応用計測として、光誘起相転移物質であるTi3O5へのレーザーパルス照射を用いたポンププローブ測定により、相転移の時間分解計測に成功した。

This topic requires the use of electronic micromirrors, which are required by the department and bureau to which the representative belongs. The position of the sample inside the laser beam is about 1 μm, so it is necessary to focus the light. The design of the special sample, the procurement of parts and materials, and the processing operations of the operator are all doneが, コロナなどの is mainly due to the impact of なlogistics stagnation in the にbandan world, and it is affected by けてには's completion within the year しなかった.実験にNecessary なハードウェアEnvironment がうまでの time, 1) Bureau in the light の distribution をElectronic wire harness automatic measurement system, 2) measurement object system Development of the technology for the production and installation of るフォトニック crystal and electronic micromirror samples , 3) パルス electron beam irradiation adjustment work and operation verification, などを parallel progress してめた. 1) Customized light distribution, local light distribution electronics, electronics, micromirrors, electromagnets, and electromagnets. , その动きと Same period してelectronic return 図-shaped を影视するようにカメラもcontrol するためのスクリプトを开発した. 2) に关しては、Shared person (Kondo)'s laboratory established the されている technology いて、 The measuring instrument is made from a のスラブ-shaped のフォトニック crystal with a thickness of about 300nm.このスラブ Area をCluster イオンビームGrinding device (FIB) でcut りdrop としてMetal ニードルでピックアップし, electronic microscope observation using copper グリッドメッシュに fixed successfully. ３) に关しては, パルスelectronic wire control の検证も和ねた応用measurement として, light induced phase shift material であるTi3 O5 へのレーザーパルス irradiation and いたポンププローブmeasurement of により and phase shift time decomposition measurement were successful.