局在光場制御及びナノ粒子相互作用を利用した次世代ナノ機能構造一括創製法の開発

利用局部光场控制和纳米粒子相互作用开发下一代纳米功能结构批量创建方法

• 批准号: 18J21820
• 负责人: 増井 周造
• 金额: $ 1.79万
• 依托单位: The University of Tokyo
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for JSPS Fellows
• 财政年份: 2018
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2018-04-25 至 2021-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18J21820/
• 关键词: 干渉リソグラフィー; 回折格子; 導波モード共振; エバネッセント光; 微細表面構造; ナノ・マイクロ構造

1．二重周期回折格子の回折特性計測さらに，構築した理論モデル実証のために，多重露光干渉リソグラフィーで造形した二重周期回折格子を自身で開発した回折特性計測装置で評価した．二重周期回折格子では，重ね合わせた2つの周期に由来する回折光がかけ合わさった回折光分布を生じる．さらに，複数の回折光スポットでは，回折効率は106倍以上異なるなど，通常の単一周期回折格子の計測と異なる計測装置の特性が要求されることがわかった．そこで，開発した回折特性計測装置では，高ダイナミックレンジのディタクタを用いて，2軸自動回転ステージにより入射角と計測角を独立に0.1度以下の精度で制御した．そして，得られた回折特性は，構築したスカラー回折理論モデルから計算される回折特性との一致を確認した．2．サブ波長格子偏光ビームスプリッタの理論モデル構築また，2020年4月からの国内での緊急事態宣言発令を受け，実験が思うように進まない中でも，2年目までに得られていた，サブ波長格子構造の特異的な低反射ピークを根気強く解析，考察することで，そのメカニズムを明らかにした．そして，従来から知られていた高反射ピークを示す導波モード共振と組み合わせたサブ波長格子からなる偏光ビームスプリッタの理論的なモデルを構築するまでに至った．これらの結果は，米国光学会(Optical Society of America, OSA)の出版するApplied Optics誌へ投稿し，Editor’s Pick(各号10%程度)に選出されるなど，国外でもその研究成果が高く評価されている．

1. Double periodic refolding lattice foldback characteristic calculation, double periodic refolding lattice refolding characteristic calculation device, double periodic refolding lattice device, double periodic refolding lattice, double periodic refolding lattice. The origin of the cycle cycle of two cycles is very important. The distribution of light refraction is very important. The number of refraction is different, and the refraction rate is more than 106 times. In general, one-cycle cell cycle With high precision and high precision, the equipment is used, the angle of incidence is measured independently, the precision is less than 0.1 degrees, the precision is less than 0.1 degrees, and the bending characteristic is obtained. The theory of foldback is very important. The calculation of the characteristics of foldback is consistent with the confirmation of R.2. The wave length lattice is polarized, the lattice is polarized, and the declaration on urgent matters in China in April 2020 is accepted. In order to improve the analysis of the characteristics of the wave length lattice, the characteristics of the wave length lattice are analyzed, and the results show that the characteristics of the wave lattice are very high. In this paper, we know that the high reflectance spectrum is very high, and the resonant wave is resonant. The wave length lattice, the polarizer, the polarizer, the optical theory, the Applied Optics, the polarizer, the optical theory, the results, the results, the results In foreign countries, the results of research are very important.

项目成果

Fabrication of dual-periodic nanostructures with multi-exposure interference lithography using Lloyd’s mirror

使用劳埃德镜多次曝光干涉光刻制造双周期纳米结构

• 发表时间: 2019
• 作者: S. Masui;M. Michihata;K. Takamasu;S. Takahashi
• 通讯作者: S. Takahashi

階層型微細機能構造創製に関する研究(第2報)インプロセス干渉縞計測による多重干渉リソグラフィーの露光制御

分层精细功能结构创建的研究（第二次报告）使用过程中干涉条纹测量的多重干涉光刻的曝光控制

• 发表时间: 2020
• 作者: Masui Shuzo;Torii Yuki;Michihata Masaki;Takamasu Kiyoshi;Takahashi Satoru;増井周造，門屋祥太郎，道畑正岐，高橋哲;増井周造，道畑正岐，高増潔，高橋哲
• 通讯作者: 増井周造，道畑正岐，高増潔，高橋哲

階層型微細機能構造創製に関する研究(第2報) インプロセス干渉縞計測による多重干渉リソグラフィーの露光制御

分层精细功能结构创建的研究（第二次报告）使用过程中干涉条纹测量的多重干涉光刻的曝光控制

• 发表时间: 2020
• 作者: Takeru FUGONO;Shuzo MASUI;Shotaro KADOYA;Masaki MICHIHATA;and Satoru TAKAHASHI;増井周造，道畑正岐，高増潔，高橋哲
• 通讯作者: 増井周造，道畑正岐，高増潔，高橋哲

Fabrication of Functional Subwavelength Structured Surface Using Evanescent Wave Interference Lithography

使用倏逝波干涉光刻技术制造功能性亚波长结构化表面

• 发表时间: 2018
• 作者: Shuzo Masui;Masaki Michihata;Kiyoshi Takamasu;Toshihiko Shibanuma;Hironao Tanaka;Satoru Takahashi
• 通讯作者: Satoru Takahashi

Measuring Optical Properties of Advanced Nano/Micro-Periodic Structures Fabricated by Multi-Exposure Interference Lithography

测量多次曝光干涉光刻制造的先进纳米/微周期结构的光学特性

• 发表时间: 2020
• 作者: Shuzo MASUI;Masaki MICHIHATA;Kiyoshi TAKAMASU;and Satoru TAKAHASHI
• 通讯作者: and Satoru TAKAHASHI