Mirror polishing for silicon wafer based on Development of Charcoal tool

基于木炭工具的硅片镜面抛光

基本信息

  • 批准号:
    26420045
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 3.16万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    2014
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2014-04-01 至 2017-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

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科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
竹炭砥石の開発に基づくシリコンウエハの鏡面研磨
基于竹炭砂轮开发的硅片镜面抛光
  • DOI:
  • 发表时间:
    2014
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    中村陽介;萩原親作
  • 通讯作者:
    萩原親作
平面研削盤用木炭砥石の開発
平面磨床用炭砂轮的研制
  • DOI:
  • 发表时间:
    2014
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    竹田史明;萩原親作
  • 通讯作者:
    萩原親作
天然資源を活用した炭砥石の開発(第1報:シリコンウエハの研磨)
利用自然资源开发木炭磨石(报告1:硅晶片的抛光)
  • DOI:
  • 发表时间:
    2015
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    萩原親作 ,久慈照信,清水 毅,ユザイリ・アブドゥル・ラヒム,篠塚郷貴
  • 通讯作者:
    萩原親作 ,久慈照信,清水 毅,ユザイリ・アブドゥル・ラヒム,篠塚郷貴
天然資源を活用した炭砥石の開発
利用自然资源开发木炭磨石
  • DOI:
  • 发表时间:
    2015
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    T. Yakushiji;F. Nakagawa and M. Goto;萩原親作 他
  • 通讯作者:
    萩原親作 他
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