Mirror polishing for silicon wafer based on Development of Charcoal tool
Mirror polishing for silicon wafer based on Development of Charcoal tool
基于木炭工具的硅片镜面抛光
批准号：
26420045
负责人：
HAGIWARA Shinsaku
金额：
$3.16万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2014
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2014-04-01 至 2017-03-31
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竹炭砥石の開発に基づくシリコンウエハの鏡面研磨
基于竹炭砂轮开发的硅片镜面抛光
基于竹炭砂轮开发的硅片镜面抛光
DOI：
--
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
作者：
[中村陽介, 萩原親作]
通讯作者：
萩原親作
平面研削盤用木炭砥石の開発
平面磨床用炭砂轮的研制
平面磨床用炭砂轮的研制
DOI：
--
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
作者：
[竹田史明, 萩原親作]
通讯作者：
萩原親作
天然資源を活用した炭砥石の開発（第1報：シリコンウエハの研磨）
利用自然资源开发木炭磨石（报告1：硅晶片的抛光）
利用自然资源开发木炭磨石（报告1：硅晶片的抛光）
DOI：
--
发表时间：
2015
期刊：
砥粒加工学会誌
影响因子：
--
作者：
[萩原親作 ,久慈照信,清水 毅,ユザイリ・アブドゥル・ラヒム,篠塚郷貴]
通讯作者：
萩原親作 ,久慈照信,清水 毅,ユザイリ・アブドゥル・ラヒム,篠塚郷貴
天然資源を活用した炭砥石の開発
利用自然资源开发木炭磨石
利用自然资源开发木炭磨石
DOI：
--
发表时间：
2015
期刊：
砥粒加工学会誌
影响因子：
--
作者：
[T. Yakushiji, F. Nakagawa and M. Goto, 萩原親作 他]
通讯作者：
萩原親作 他
Proposal of automatic polishing method for die
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批准号：20560102
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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资助金额：$3.0万
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财政年份：2008
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负责人：HAGIWARA Shinsaku
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依托单位：
海外基金