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Device physics and fabrication technology for silicon integrated circuits

硅集成电路的器件物理和制造技术

基本信息

批准号：
4896-1997
负责人：
Tarr, Garry
金额：
$ 1.84万
依托单位：
Carleton University
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
财政年份：
1998
资助国家：
加拿大
起止时间：
1998-01-01 至 1999-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=128687
关键词：
Device physics fabrication technology silicon

项目摘要

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Device physics and fabrication technology for silicon integrated circuits

基本信息

项目摘要

项目成果

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