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Periodic mesoporous organosilica (PMO) thin films for low-K applications in microelectronics
用于微电子低 K 应用的周期性介孔有机硅 (PMO) 薄膜
基本信息
- 批准号：324593-2005
- 负责人：
- 金额：$ 0.25万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：Innovation Challenge Award
- 财政年份：2005
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：2005-01-01 至 2006-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
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项目成果
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