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Synthesis of silicon oxynitride thin films for new doping-sources for silicon solidified by unidirectional methods and semiconductor applications
单向固化硅新型掺杂源氮氧化硅薄膜的合成及半导体应用
基本信息
- 批准号：347313-2008
- 负责人：
- 金额：$ 1.26万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：Postgraduate Scholarships - Master's
- 财政年份：2008
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：2008-01-01 至 2009-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
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项目成果
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