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Internal friction in thin films: application to micro- and nanomechanical resonators
薄膜内摩擦：在微米和纳米机械谐振器中的应用
基本信息
- 批准号：380341-2009
- 负责人：
- 金额：$ 2.91万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：Discovery Grants Program - Accelerator Supplements
- 财政年份：2009
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：2009-01-01 至 2010-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
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项目成果
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- 作者：
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Structure-Property Relationships for Designing Multifunctional Microsystems and Nanosystems
设计多功能微系统和纳米系统的结构-性能关系
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用于微系统和纳米系统的先进材料
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1000214724-2009 - 财政年份：2013
- 资助金额：
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Canada Research Chairs
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429962-2012 - 财政年份：2012
- 资助金额：
$ 2.91万 - 项目类别：
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用于微系统和纳米系统的先进材料
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1000214724-2009 - 财政年份：2012
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薄膜内摩擦：在微米和纳米机械谐振器中的应用
- 批准号：
311802-2009 - 财政年份：2010
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311802-2009 - 财政年份：2009
- 资助金额：
$ 2.91万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
Effect of Grain Boundary and Size on Electro-Thermo-Mechanical Properties and Internal Friction of Nano Grained Thin Metal Films Using MEMS Devices
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