High-purity metal nitride films prepared by hollow cathode plasma ALD

空心阴极等离子体ALD制备高纯金属氮化物薄膜

基本信息

  • 批准号:
    508019-2016
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 1.82万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    加拿大
  • 项目类别:
    Engage Grants Program
  • 财政年份:
    2016
  • 资助国家:
    加拿大
  • 起止时间:
    2016-01-01 至 2017-12-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

Performance of thin films prepared by atomic layer deposion (ALD) for micro- and optoelectronics
原子层沉积(ALD)制备的微电子和光电子薄膜的性能

项目成果

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Martinu, Ludvik其他文献

WO3/SiO2 composite optical films for the fabrication of electrochromic interference filters
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Smart nanostructured optical coatings prepared by pulsed plasma-based techniques
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    22K04687
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    2022
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    2102655
  • 财政年份:
    2021
  • 资助金额:
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  • 批准号:
    534524-2019
  • 财政年份:
    2020
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    $ 1.82万
  • 项目类别:
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