研究超深亚微米器件的典型失效机理—热载流子注入和负偏压温度不稳定性。寻找分解这两种效应的方法，确定每个机理在典型器件参数偏移和任意偏压以及温度条件下各自的作用。建立两种机理影响的器件寿命模型，提出一个很好的器件可靠性监测量。提出可靠性加固的器件最佳结构和工艺参数。这对于超深亚微米器件可靠性的研究意义重大。