多元透明导电氧化物薄膜光电性能的机理研究

锡掺杂氧化铟(ITO)以其优良的电性能在光伏电池的实际应用中使用，但由于铟的贮量低，这种薄膜的造价很高，且其透光率和稳定性不及很多其它氧化物。最近铝掺氧化锌以其良好的透光及稳定性成为研究热点，但其导电性始终不及ITO。几种氧化物的混薄膜制备成为研究者开发具有良好光电性能氧化物薄膜的又一途径，但多数研究还局限于薄膜的制备及性能分析。对几种氧化物混合形成透明导电氧化物（TCO）薄膜成份、结构及光、电性能等关系的基理方面研究还鲜有报导。本项目将利用粉末靶的优势，对除氧化铟外常用的锌、锡、镉氧化物混合，大范围地改变混合成份，用粉末靶脉冲磁控溅射法制备T薄膜。因为此方法可廉价地获得成份可变的靶体，且其等离子体高能、稳定。研究所制备的薄膜成份、结构、性能间的内在关系，建立关系模型，并深入探讨此关系的内在机理。另外，项目将初步涉及对p-型掺杂氧化铜TCO薄膜的研究，开发TCO家族的新成员。