多元透明导电氧化物薄膜光电性能的机理研究

批准号:
50872048
项目类别:
面上项目
资助金额:
32.0 万元
负责人:
周艳文
依托单位:
学科分类:
E0207.无机非金属半导体与信息功能材料
结题年份:
2011
批准年份:
2008
项目状态:
已结题
项目参与者:
贾维平、王森、吴法宇、薛宁、苏晓平、赵卓
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中文摘要
锡掺杂氧化铟(ITO)以其优良的电性能在光伏电池的实际应用中使用,但由于铟的贮量低,这种薄膜的造价很高,且其透光率和稳定性不及很多其它氧化物。最近铝掺氧化锌以其良好的透光及稳定性成为研究热点,但其导电性始终不及ITO。几种氧化物的混薄膜制备成为研究者开发具有良好光电性能氧化物薄膜的又一途径,但多数研究还局限于薄膜的制备及性能分析。对几种氧化物混合形成透明导电氧化物(TCO)薄膜成份、结构及光、电性能等关系的基理方面研究还鲜有报导。本项目将利用粉末靶的优势,对除氧化铟外常用的锌、锡、镉氧化物混合,大范围地改变混合成份,用粉末靶脉冲磁控溅射法制备T薄膜。因为此方法可廉价地获得成份可变的靶体,且其等离子体高能、稳定。研究所制备的薄膜成份、结构、性能间的内在关系,建立关系模型,并深入探讨此关系的内在机理。另外,项目将初步涉及对p-型掺杂氧化铜TCO薄膜的研究,开发TCO家族的新成员。
英文摘要
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The Characteristics of ZnxSn1-xO FilmsPrepared by RF Magnetron Sputtering from Powder targets
粉末靶材射频磁控溅射制备ZnxSn1-xO薄膜的特性
DOI:--
发表时间:--
期刊:Journal of Nanoelectronics and Optoelectronics
影响因子:0.6
作者:FaYu Wu;Xi Liu;Wei Yang;Jin Liu
通讯作者:Jin Liu
DOI:--
发表时间:--
期刊:Advanced Materials Research Vol.399-401(2012)2012
影响因子:--
作者:Fayu Wu;Junwei Zhang;Weijuan Li;Yiyong Wang;Yanwen Zhou
通讯作者:Yanwen Zhou
Numerical simulation of magnetron fields under unbalanced and closed-field unbalanced magnetron and the effect on the feature of plasma
不平衡及闭场不平衡磁控管下磁控场的数值模拟及其对等离子体特性的影响
DOI:--
发表时间:--
期刊:Frontier of Applied Plasma Technology
影响因子:--
作者:Yue Liu;Zhuo Zhao;Peter Kelly;Yanwen Zhou
通讯作者:Yanwen Zhou
DOI:--
发表时间:--
期刊:材料研究学报
影响因子:--
作者:张峻巍;周艳文;李维娟;吴法宇
通讯作者:吴法宇
Numerical simulation of magnetron fields in unbalanced and closed-field unbalanced magnetron
不平衡和闭场不平衡磁控管中磁控管场的数值模拟
DOI:--
发表时间:--
期刊:Plasma Application and Hybrid Functionally Materials
影响因子:--
作者:Zhuo Zhao;Yanwen Zhou;Yue Liu
通讯作者:Yue Liu
磁控溅射铝基涂层/热成形高强钢界面扩散行为与合金相调控
- 批准号:--
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:55万元
- 批准年份:2022
- 负责人:周艳文
- 依托单位:
等离子体驱动梯度素涂层的获得及其对多重耦合失效的抑制机理
- 批准号:51972155
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:60.0万元
- 批准年份:2019
- 负责人:周艳文
- 依托单位:
氧化物薄膜在钙钛矿太阳能电池中的电子输运机理
- 批准号:51672119
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:63.0万元
- 批准年份:2016
- 负责人:周艳文
- 依托单位:
石墨烯基超薄透明导电氧化物薄膜结构及光电行为
- 批准号:51372109
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:80.0万元
- 批准年份:2013
- 负责人:周艳文
- 依托单位:
磁控溅射等离子体行为对TCO薄膜结构性能影响机理
- 批准号:51172101
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:63.0万元
- 批准年份:2011
- 负责人:周艳文
- 依托单位:
国内基金
海外基金
