扫描电化学显微镜组合探针技术及其微加工应用
结题报告
批准号:
20973142
项目类别:
面上项目
资助金额:
34.0 万元
负责人:
詹东平
依托单位:
学科分类:
B0205.电化学
结题年份:
2012
批准年份:
2009
项目状态:
已结题
项目参与者:
陈良坦、尹秉胜、杨扬、江庆宁
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中文摘要
扫描电化学显微镜(SECM)以超微电极为探针,通过控制探针或/和基底的电势激发微区电化学反应,是一种极具潜在应用价值的无掩模微加工技术。本项目拟发展组合探针技术,提出SECM绘图仪新思路,通过激发探针与基底之间< 1 pL量级的电解质溶液内的特定电化学反应,在基底上实现可持续的微米尺度的直接描绘,从而发展具有高空间分辨率的新型微加工方法。预期结果包括:开发适于微米加工的具有独创性的SECM软接触模式;发展微米尺度的组合探针技术,研究相关表面反应的物理化学性质;建立SECM绘图仪技术的理论模型,提出优化实验条件的规律。
英文摘要
项目实施三年以来,我们根据项目的执行和进展情况,曾于2010年度进展报告中,对项目做了相关的调整,但仍然坚持了扫描电化学显微镜微加工的大方向,除了实验方法的建立外,将研究内容改为“功能微纳材料的原位合成、组装以及微纳米器件的构筑和表征”,取得了如下创新性研究成果:.(1).提出了一种扫描电化学显微镜组合探针技术,用于实现针尖上的产生/收集反应。当组合探针逼近基底的,收集系数随着二者距离的减小而增大,可用于研究电化学反应机理和单细胞药物作用机制的研究,成果发表在Chemical Chemical Letters上.(2).建立了扫描电化学显微镜的软解触摸式,采用具有微纳米尖端开口的毛细管作为电解池,使SECM 探针和基底之间通过微小体积的电解质溶液进行接触,从而进行微纳米功能晶体材料的合成及微纳器件组装,成果发表在Angewandte Chemie-International Edition上。.(3).采用软接触模式合成了铁氰化物掺杂的氯化钠固体溶液微晶体,系统研究了其合成机理、结构表征、全固态点化学性质以及微纳器件的性质,成果发表在Analytical Chemistry上。.(4).采用软接触模式合成了跨尺度的氧化锌纳米结构薄膜,构筑了微纳米级的超级电容器和场效应管,并表征了相关的性能,成果发表在Chemical Communication上。.此外,本项目还发表4篇核心期刊(《电化学》,2012,405-409;2011,252-256;2010,300-306;大学化学,2012,27,1-8)并申请国家发明专利一项(申请号:201110203433.3)
期刊论文列表
专著列表
科研奖励列表
会议论文列表
专利列表
Generation/collection mode of SECM with combined probe
组合探头SECM的生成/收集模式
DOI:10.1016/j.cclet.2011.09.015
发表时间:2012
期刊:Chinese Chemical Letters
影响因子:9.1
作者:Wang, Wei;Zhang, Jie;Han, LianHuan;Yang, Dezhi;Zhan, Dong Ping
通讯作者:Zhan, Dong Ping
DOI:10.1002/anie.201103386
发表时间:2011-09
期刊:Angewandte Chemie
影响因子:--
作者:Dezhi Yang;Lianhuan Han;Yang Yang-Yang;Liu-bin Zhao;Cheng Zong;Yi-Fan Huang;D. Zhan;Z. Tian
通讯作者:Dezhi Yang;Lianhuan Han;Yang Yang-Yang;Liu-bin Zhao;Cheng Zong;Yi-Fan Huang;D. Zhan;Z. Tian
DOI:--
发表时间:--
期刊:电化学
影响因子:--
作者:王玮;苏宝法;詹东平
通讯作者:詹东平
DOI:--
发表时间:--
期刊:大学化学
影响因子:--
作者:张杰;詹东平;贾晶春;朱益亮;韩联欢;袁野;时康;周剑章;田昭武;田中群
通讯作者:田中群
DOI:--
发表时间:--
期刊:电化学
影响因子:--
作者:苏宝法;王玮;詹东平;任斌;田中群
通讯作者:田中群
高端电子制造中铜互联线电子电镀的表界面过程及其先进研究方法
  • 批准号:
    22132003
  • 项目类别:
    重点项目
  • 资助金额:
    320万元
  • 批准年份:
    2021
  • 负责人:
    詹东平
  • 依托单位:
电化学微纳加工:仪器平台、理论和应用研究
  • 批准号:
    21327002
  • 项目类别:
    专项基金项目
  • 资助金额:
    310.0万元
  • 批准年份:
    2013
  • 负责人:
    詹东平
  • 依托单位:
基于约束刻蚀剂层的超光滑表面加工新方法
  • 批准号:
    91023006
  • 项目类别:
    重大研究计划
  • 资助金额:
    50.0万元
  • 批准年份:
    2010
  • 负责人:
    詹东平
  • 依托单位:
国内基金
海外基金