本项目首创性地提出了应用创新差动复合微镜结构的MEMS光开关光可变衰减器单片集成芯片结构，以及一套用以制造核心片结构的新工艺集成技术。建立了研究微光学MEMS器件光能分布的蒙特卡罗理论模型和对微光学MEMS器件微镜表面光学粗糙度的理论评价体系，本项目系交叉学科的创新性前沿研究，具有重要的理论意义和显著的应用价值。