课题基金 / 基金详情

MEMS光开关光可变衰减器单片集成的理论与技术研究

批准号：
60278028
项目类别：
面上项目
资助金额：
31.0 万元
负责人：
吴文刚
依托单位：
北京大学
学科分类：
应用光学
结题年份：
2005
批准年份：
2002
项目状态：
已结题
项目参与者：
李静、刘俊、栗大超、袁勇、缪旻、王成伟
关键词：
MEMS光开关MEMS光可变衰减器单片集成

项目摘要

结项摘要

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中文摘要
本项目首创性地提出了应用创新差动复合微镜结构的MEMS光开关光可变衰减器单片集成芯片结构，以及一套用以制造核心片结构的新工艺集成技术。建立了研究微光学MEMS器件光能分布的蒙特卡罗理论模型和对微光学MEMS器件微镜表面光学粗糙度的理论评价体系，本项目系交叉学科的创新性前沿研究，具有重要的理论意义和显著的应用价值。
英文摘要
面向恶性肿瘤临床便捷检测的可视化微流体表面等离激元超材料生物传感芯片基础研究
  • 批准号：
    61974004
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    63.0万元
  • 批准年份：
    2019
  • 负责人：
    吴文刚
  • 依托单位：
    北京大学
基于Scallop效应所制备三维镂空纳米阵列结构的LSP-SPP耦合免疫传感原理及器件研究
  • 批准号：
    61474006
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    85.0万元
  • 批准年份：
    2014
  • 负责人：
    吴文刚
  • 依托单位：
    北京大学
基于电解液-氧化物-半导体(EOS)结构单向导电特性的微/纳流控器件基础研究
  • 批准号：
    61274116
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    82.0万元
  • 批准年份：
    2012
  • 负责人：
    吴文刚
  • 依托单位：
    北京大学
结构一体化光开关、光可变衰减、光可调功率分配多功能MEMS器件理论与结构研究
  • 批准号：
    60876084
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    30.0万元
  • 批准年份：
    2008
  • 负责人：
    吴文刚
  • 依托单位：
    北京大学
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