基于聚焦离子束应力引入技术的三维纳米结构成型方法及理论研究

批准号:
50775001
项目类别:
面上项目
资助金额:
40.0 万元
负责人:
吴文刚
依托单位:
学科分类:
E0512.微纳机械系统
结题年份:
2010
批准年份:
2007
项目状态:
已结题
项目参与者:
徐军、张会珍、赖西湖、徐宗刚、罗浩、韩翔
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中文摘要
本项目原创性提出基于聚焦离子束应力引入技术(FIB-SIT)的三维纳米结构成型方法。该新概念纳加工方法的实质是利用和控制FIB致纳米尺度表面损伤,从而利用和控制因这种结构损伤而造成的纳米结构的应变变形,以实现将二维纳米结构(或简单三维纳米结构)灵活、可控、可重复地转变成三维纳米结构(或复杂三维纳米结构)。成型出的三维纳米结构的特征尺寸可小于100纳米。本项目将深入研究和开发该新概念纳加工方法,包括揭示工艺机理,建立工艺模型,扩展材料适用面,建立系统性、定量化、可设计的工程运用方法,在不同种类材料上制备出复杂三维纳米功能结构(如三维纳米螺旋线圈),并探索其应用。该新概念纳加工方法突破了现有微/纳加工工艺进行三维加工的技术和应用限制,开辟了一条制备多种多样三维纳米结构的新道路,将在构筑各种纳米器件及系统上获得广泛应用。该新概念纳加工方法的提出和建立,是纳米器件及系统制造方面的一项重要发展。
英文摘要
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专利列表
面向恶性肿瘤临床便捷检测的可视化微流体表面等离激元超材料生物传感芯片基础研究
- 批准号:61974004
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:63.0万元
- 批准年份:2019
- 负责人:吴文刚
- 依托单位:
基于Scallop效应所制备三维镂空纳米阵列结构的LSP-SPP耦合免疫传感原理及器件研究
- 批准号:61474006
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:85.0万元
- 批准年份:2014
- 负责人:吴文刚
- 依托单位:
基于电解液-氧化物-半导体(EOS)结构单向导电特性的微/纳流控器件基础研究
- 批准号:61274116
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:82.0万元
- 批准年份:2012
- 负责人:吴文刚
- 依托单位:
结构一体化光开关、光可变衰减、光可调功率分配多功能MEMS器件理论与结构研究
- 批准号:60876084
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:30.0万元
- 批准年份:2008
- 负责人:吴文刚
- 依托单位:
射频MEMS无源元器件铜互连及其建模技术研究
- 批准号:90307007
- 项目类别:重大研究计划
- 资助金额:40.0万元
- 批准年份:2003
- 负责人:吴文刚
- 依托单位:
MEMS光开关光可变衰减器单片集成的理论与技术研究
- 批准号:60278028
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:31.0万元
- 批准年份:2002
- 负责人:吴文刚
- 依托单位:
国内基金
海外基金
