基于RF MEMS开关的可重构微波均衡器设计理论与实现方法的研究
批准号：
61106114
项目类别：
青年科学基金项目
资助金额：
25.0 万元
负责人：
韩磊
依托单位：
学科分类：
微纳机电器件与控制系统
结题年份：
2014
批准年份：
2011
项目状态：
已结题
项目参与者：
殷刚毅、宋竞、王立峰、刘红、张晓艳、徐宝馨
项目摘要
结项摘要
项目成果
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中文摘要
随着雷达、通信等领域技术的快速发展，带宽、幅频特性、可靠性和工作稳定性之间的矛盾使得现有的射频系统已经越来越不能满足日益提高的应用要求。在不影响射频系统的性能和成本的前提下，本项目首次提出了一种用于灵活调节系统幅频特性的基于RF MEMS开关的可重构微波均衡器结构方案，其特点是结构新颖、性能优越、应用性强、工艺兼容性好。本项目的核心研究内容是建立一套完整的可重构微波均衡器设计理论和实现方法，包括：（1）微波均衡器和RF MEMS开关各种模型的建立和设计方法的研究；（2）MEMS微波均衡器可重构结构的设计理论和方法研究；（3）应用所取得的研究成果，指导基于RF MEMS开关的可重构微波均衡器样片的设计和工艺制作；（4）建立可重构微波均衡器的测试系统，用试验研究的方法验证设计理论与方法的有效性。
英文摘要
本项目以可重构MEMS微波均衡器为研究对象，将RF MEMS开关应用在微波均衡器结构中，实现了均衡曲线的可重构。项目研究了高性能RF MEMS热驱动开关结构及其微波模型和静力学模型，重点研究了可重构MEMS微波均衡器的微波模型和匹配设计方法，并在理论模型和仿真优化的基础上完成了两种可重构MEMS微波均衡器结构及四种RF MEMS热驱动开关结构的工艺流程设计、工艺制备和测试，测试结果显示了可重构MEMS微波均衡器可以实现多种均衡曲线的转换，具备优良的微波特性和机械特性，验证了设计理论的正确性和实现方法的有效性，为下一步的工程应用奠定了基础。
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Measurement and analysis of substrate leakage current of RF mems capacitive switches
RF MEMS电容开关基板漏电流的测量与分析
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DOI：
10.1016/j.microrel.2013.07.011
发表时间：
2014
期刊：
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影响因子：
1.6
作者：
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通讯作者：
朱雁青
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发表时间：
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通讯作者：
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发表时间：
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影响因子：
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作者：
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通讯作者：
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DOI：
--
发表时间：
2012
期刊：
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影响因子：
--
作者：
[韩磊]
通讯作者：
韩磊
DOI：
--
发表时间：
2012
期刊：
Chinese Journal of Sensors and Actuators
影响因子：
--
作者：
[张晓艳, 黄庆安, 韩磊]
通讯作者：
韩磊
共 6 条
基于折纸结构的三维高性能纵向驱动RF MEMS器件设计理论与实验研究
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批准号：62174027
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项目类别：面上项目
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资助金额：60万元
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批准年份：2021
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负责人：韩磊
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依托单位：
基于典型MEMS膜/梁结构的RF MEMS柔性器件弯曲特性模型理论与实验研究
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批准号：61774032
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项目类别：面上项目
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资助金额：63.0万元
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批准年份：2017
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负责人：韩磊
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依托单位：
国内基金
海外基金